[实用新型]一种单晶炉观察窗清洁装置

权利要求书

1.一种单晶炉观察窗清洁装置，包括单晶炉体（7）、观察窗（2）和容纳仓（4），其特征在于：所述单晶炉体（7）的炉壁上开设有观察窗（2），观察窗（2）的内侧镶嵌有防爆玻璃（11），且单晶炉体（7）的内侧观察窗（2）的上方通过固定支架（9）安装有分布管（8），分布管（8）的底部均匀安装有喷头（10），所述单晶炉体（7）的内侧观察窗（2）的下方安装有收集漏斗（12），收集漏斗（12）的底部固定连接有回水管（1），且回水管（1）远离收集漏斗（12）的一端贯穿单晶炉体（7）并延伸至单晶炉体（7）外部，所述观察窗（2）的上方单晶炉体（7）的炉壁夹层中设有容纳仓（4），容纳仓（4）的一侧单晶炉体（7）上通过铰链活动安装有检修门（5），且容纳仓（4）的内壁上安装有隔热板（18），所述容纳仓（4）的内部通过螺栓安装有鼓风机（15），鼓风机（15）通过导线与检修门（5）外表面上安装的控制器（6）电连接，且鼓风机（15）的出风端固定连接有进风导管（14），所述进风导管（14）远离鼓风机（15）的一端与分布管（8）的一端固定连接，且进风导管（14）上安装有第一电磁控制阀（13），第一电磁控制阀（13）通过导线与控制器（6）电性连接，所述鼓风机（15）的一侧容纳仓（4）内设有蓄水箱（17），蓄水箱（17）的一侧容纳仓（4）内通过螺栓安装有送水泵（19），且送水泵（19）通过导线与控制器（6）电连接，所述送水泵（19）的进水端通过导管与蓄水箱（17）固定连接，且送水泵（19）的出水端固定连接有送水导管（20），所述送水导管（20）远离送水泵（19）的一端分布管（8）的另一端固定连接，且送水导管（20）上安装有有第二电磁控制阀（21），第二电磁控制阀（21）通过导线与控制器（6）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉观察窗清洁装置，其特征在于：所述隔热板（18）为真空隔热板。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉观察窗清洁装置，其特征在于：所述喷头（10）为喷气、喷水双用喷头。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉观察窗清洁装置，其特征在于：所述控制器（6）的两侧检修门（5）上皆设有散热窗（3）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉观察窗清洁装置，其特征在于：所述蓄水箱（17）的内部安装有液位传感器，且蓄水箱（17）一侧的上方设有注水口。