[实用新型]一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组有效
| 申请号： | 201820095753.9 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207830240U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/04 | 分类号： | F04F9/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散泵 前级泵 抽气口 本实用新型 阀出气口 真空阀门 真空机组 出气口 真空热处理设备 真空热处理炉 工控系统 连接系统 三通管路 设备运行 生产效率 真空管道 真空管路 泵抽气 泵机组 抽真空 系统阀 组连接 预抽 能耗 三通 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组，与真空热处理炉相对应，真空热处理炉上设置有真空机组，真空机组包括扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组，其特征在于：所述扩散泵出气口通过三通管路件连接系统阀抽气口和维持阀抽气口；所述维持阀出气口通过真空管道与维持泵抽气口连接；所述前级泵组抽气口设置有三通真空管路，分别与前级泵组抽气口、预抽阀出气口和系统阀出气口连接；所述扩散泵、维持泵、维持阀、真空阀门、前级泵组连接工控系统。
2.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组，其特征在于：所述扩散泵出气口三通管路件设置有密封圈，分别与扩散泵出气口、系统阀抽气口、维持阀抽气口连接。
3.根据权利要求2所述的一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组，其特征在于：所述扩散泵出气口三通管路件设置有压力传感器，用于测量扩散泵真空度，压力传感器将真空测量值反馈到工控系统。
4.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组，其特征在于：所述扩散泵顶部抽气口安装有高真空主阀，高真空主阀与扩散泵抽气口、反应腔真空管道、预抽阀管道相连接；所述预抽阀管道另一端连接预抽阀抽气口。
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