[实用新型]一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201820096098.9 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN207869078U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 廖珮淳;林瑞钦;赵俊武 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 层状结构 本实用新型 薄膜体声波谐振器 横向驻波 底电极 外轮廓 横波 基板 效益最大化 产品开发 反射界面 几何图形 同一位置 直线线段 顶电极 非对称 曲线面 压电层 反射 抵消 封闭 制作 | ||
【权利要求书】：
1.一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，包括顶电极、压电层和底电极构成的层状结构，以及基板；其特征在于：所述的底电极和基板之间设有反射界面；所述的层状结构的外轮廓为一条曲线和至少一条直线线段连接而成的封闭线型。
2.根据权利要求1所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的曲线为一凸或一凹的线型。
3.根据权利要求1所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的直线线段为2条以上，相邻的直线线段之间的夹角角度大于0度、小于180度。
4.根据权利要求1所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的直线线段为3条以上，其中至少有两条直线线段互相平行。
5.根据权利要求1所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的反射界面为底电极和基板之间的空气腔。
6.根据权利要求1所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的反射界面由高声阻与低声阻材料交叠形成。
7.根据权利要求1所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的压电层采用具有压电特性的材料。
8.根据权利要求7所述的抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述的具有压电特性的材料为AlN、AlScN、ZnO、PZT、LiNo3或LTaO3。
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