[实用新型]防止传送轮交叉污染的硅片传送装置有效
| 申请号： | 201820097204.5 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN207774325U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 吴佳俊;吴家宏;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 实心辊 压轮 交叉污染 压轮轴 硅片 本实用新型 硅片传送 传送轮 辊轮轴 间隙配合 上下组合 同步旋转 药水污染 轴向限位 对压轮 外周面 无接触 齿槽 齿尖 磨损 平行 传送 改进 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止传送轮交叉污染的硅片传送装置，包括安装在机架上相互平行的辊轮轴(1)和压轮轴(2)，辊轮轴(1)上固定有实心辊轮(3)，压轮轴(2)上间距安装有若干个与实心辊轮(3)同步旋转的压轮(4)，其特征是：所述的压轮(4)与压轮轴(2)间隙配合且轴向限位，所述实心辊轮(3)和压轮(4)的外周面均具有V形齿(5)，所述压轮(4)的V形齿(5)的齿尖对应于实心辊轮(3)的V形齿(5)的齿槽。
2.如权利要求1所述的防止传送轮交叉污染的硅片传送装置，其特征是：所述的辊轮轴(1)与压轮轴(2)之间通过齿轮(6)传动实现同步旋转。
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