[实用新型]一种平面靶材背面金属化设备

权利要求书

1.一种平面靶材背面金属化设备，其特征在于：包括热台（1）、靶材推杆（4）、数控推杆传动丝杆（3）、数控三轴龙门滑台（5）、超声波涂铟机（6）和用于控制热台温度的热台温控箱（2），所述的热台是由N个单温区热台（11）组成，热台的两侧边缘设置有丝杆安装槽（12），所述热台温控箱的数量与单温区热台相同，每个单温区热台上配套安装一个热台温控箱，数控推杆传动丝杆（3）设置有两根，两根数控推杆传动丝杆通过丝杆安装块（7）分别安装在丝杆安装槽（12）内，数控推杆传动丝杆的一端安装有丝杆电机（8），所述的靶材推杆（4）设置有N-1根，靶材推杆间隔一个单温区热台宽度的距离通过推杆安装块（9）安装在两根数控推杆传动丝杆（3）上并位于热台上方，所述靶材推杆的两端通过转轴（42）安装在推杆安装块上，推杆安装块开有内螺纹孔，推杆安装块通过内螺纹孔安装在数控推杆传动丝杆（3）上，所述的数控三轴龙门滑台（5）包括有X方向轴（51）、Y方向轴（52）和Z方向轴（53），数控三轴龙门滑台安装在热台上，超声波涂铟机（6）安装在Z方向轴上，N的取值为3-10。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材背面金属化设备，其特征在于：N的取值为7。

3.根据权利要求1或2所述的一种平面靶材背面金属化设备，其特征在于：所述靶材推杆（4）为长方体，靶材推杆一端的推杆安装块（9）上还设置有用于限制靶材推杆仅对向前运动的靶材施力的推杆转动挡片（41）。

4.根据权利要求1或2所述的一种平面靶材背面金属化设备，其特征在于：所述的数控三轴龙门滑台的Z方向轴（53）上还设置有涂铟过程中给超声波涂铟机施加向上拉力的涂铟机拉力弹簧（10）。