[实用新型]蒸镀用基板及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820102299.5 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN208136315U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊;韩乔楠 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 基板本体 磁性膜层 下垂 蒸镀 蒸镀设备 本实用新型 金属掩膜板 对位误差 方向相反 开口区域 铁磁材料 显示面板 像素图形 准确对位 对基板 吸附力 混色 磁场 施加 应用 | ||
1.一种蒸镀用基板，其特征在于，包括：
基板本体，所述基板本体的其中一表面上设置有包括铁磁材料的磁性膜层；
其中，蒸发源蒸发材料形成在所述表面的相对另一表面；
所述磁性膜层包括位于所述表面上不同区域的多个部分，其中每一部分的所述磁性膜层在所述表面上的设置区域分别与所述基板本体的其中一像素图形区域对应。
2.根据权利要求1所述的蒸镀用基板，其特征在于，所述磁性膜层为聚酰亚胺薄膜层，内部设置有铁磁材料。
3.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1至2任一项所述的蒸镀用基板。
4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括掩膜板和用于产生磁场以吸附所述掩膜板的磁板，其中所述基板本体设置于所述磁板与所述掩膜板之间，且所述表面为所述基板本体靠近所述磁板的表面。
5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：
采用隔磁材料制成的磁屏蔽材料层，所述磁屏蔽材料层设置于所述磁板与所述基板本体之间；
其中，所述磁屏蔽材料层包括至少一通孔区域，其中所述基板本体的像素图形区域在所述磁屏蔽材料层所在平面的投影，位于所述通孔区域的内部。
6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述磁屏蔽材料层包括与所述掩膜板的边缘区域对应的第一部分和/或与所述掩膜板的内部区域对应的第二部分。
7.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括冷却板，其中所述磁屏蔽材料层通过耐高温胶带与所述冷却板贴附连接。
8.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，制成所述磁屏蔽材料层的隔磁材料为钢材。
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