[实用新型]一种白光干涉物镜

说明书

本实用新型公开一种白光干涉物镜，包括显微镜物镜接口、分光镜壳、棱镜、第一基准面、第二基准面、第一显微镜物镜、第二显微镜物镜、参考臂外壳、底座、安装座以及标准镜，所述显微镜物镜接口与分光镜连接，所述分光镜包含分光镜壳和棱镜，所述棱镜设置于分光镜壳内，所述棱镜的入光面斜向面对显微镜物镜接口，所述分光镜壳的底面设置为第一基准面，所述分光镜壳的一侧面设置为第二基准面。通过上述方式，本实用新型提供一种白光干涉物镜，采用完全内置设计且置于物镜后端的棱镜以及采用双物镜长工作距离的模块化结构，实现视场范围的明显扩大，镜面污染的有效杜绝，生产成本的显著降低。

技术领域

本实用新型涉及一种白光干涉物镜。

背景技术

现有的白光干涉物镜，有mirau型以及迈克尔逊型，结构紧凑，但是存在以下不足：

1.mirau型白光干涉物镜结构紧凑，中心部分有遮挡，对图像的清晰度有一定影响。

2.mirau型白光干涉物镜在配合显微镜目视情况下只能在目镜中心一定的范围内观察到干涉条纹，不能够使视场得到有效利用。

3.mirau型白光干涉物镜，工作距离短，一般几个毫米。不利于实现对表面形貌起伏太大或者台阶高度更大的产品进行检测。

4.mirau型白光干涉物镜生产以及装配要求高，成本高。一直以来只有从国外进口。

5.迈克尔逊型白光干涉物镜，干涉单元置于物镜与被测表面之间，工作距离小最长只有不到物镜工作距离的一半。分光镜和被测表面之间没有防尘功能，除尘维护难度大。

6.迈克尔逊型白光干涉物镜，最大放大倍数5倍以下，不适合做到更高的倍数。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种白光干涉物镜，采用完全内置设计且置于物镜后端的棱镜以及采用双物镜长工作距离的模块化结构，实现视场范围的明显扩大，镜面污染的有效杜绝，生产成本的显著降低。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种白光干涉物镜，包括显微镜物镜接口、分光镜壳、棱镜、第一基准面、第二基准面、第一显微镜物镜、第二显微镜物镜、参考臂外壳、底座、安装座以及标准镜，所述显微镜物镜接口与分光镜连接，所述分光镜包含分光镜壳和棱镜，所述棱镜设置于分光镜壳内，所述棱镜的入光面斜向面对显微镜物镜接口，所述分光镜壳的底面设置为第一基准面，所述分光镜壳的一侧面设置为第二基准面，所述第一基准面沿竖直向下方向固定安装有第一显微镜物镜，所述第二基准面沿水平方向安装有第二显微镜物镜，所述第二显微镜物镜外套接参考臂外壳，所述参考臂外壳端部设置底座，所述底座向内固定有安装座，所述安装座头部设置标准镜，所述标准镜正对第二显微镜物镜。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述第一显微镜物镜、第二显微镜物镜、参考臂外壳分别与所述分光镜壳以螺纹方式模块化连接。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述棱镜与显微镜物镜接口入光角度设置为45度。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种白光干涉物镜，采用完全内置设计且置于物镜后端的棱镜以及采用双物镜长工作距离的模块化结构，实现视场范围的明显扩大，镜面污染的有效杜绝，生产成本的显著降低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本实用新型一种白光干涉物镜的一较佳实施例的结构图。

具体实施方式