[实用新型]一种溅射装置

权利要求书

1.一种溅射装置，其特征在于，包括第一旋转靶材、第二旋转靶材、被溅镀物、主遮挡板单元、溅镀罩单元、控制部以及靶材；其中：

第一旋转靶材和第二旋转靶材并列设置、呈正棱柱状且能够以中心轴为中心旋转；

所述被溅镀物设置在所述第一旋转靶材和第二旋转靶材的下方，被溅镀所述第一旋转靶材、第二旋转靶材分别释放的溅镀物质；

所述主遮挡板单元设置在所述第一旋转靶材、第二旋转靶材及所述被溅镀物之间并且覆盖或暴露所述被溅镀物；

所述溅镀罩单元设置在所述主遮挡板单元及所述被溅镀物之间并且能够水平方向移动、备有溅镀模板；

所述控制部用于控制所述第一旋转靶材、第二旋转靶材、主遮挡板单元以及溅镀罩单元；

所述第一旋转靶材、第二旋转靶材的正棱柱的侧面分别设置释放不同溅镀物质的靶材。

2.根据权利要求1所述的一种溅射装置，其特征在于，

还包括精密遮挡板单元和被溅镀物移动单元，其中：

所述精密遮挡板单元设置在所述主遮挡板单元与所述被溅镀物之间，能够决定溅镀领域；

所述被溅镀物移动单元固定所述被溅镀物，并对应所述溅镀领域，能够水平方向移动所述被溅镀物。

3.根据权利要求1所述的一种溅射装置，其特征在于，

所述第一旋转靶材、第二旋转靶材的形状是正六角柱。

4.根据权利要求1所述的一种溅射装置，其特征在于，

所述第一旋转靶材与第二旋转靶材之间设置有隔板。

5.根据权利要求1所述的一种溅射装置，其特征在于，

所述第一旋转靶材、第二旋转靶材被设置为与所述被溅镀物相对的正棱柱的一面位于与所述被溅镀物形成锐角的位置。

6.根据权利要求2所述的一种溅射装置，其特征在于，

所述精密遮挡板单元包括为了开放选定组成比的溅镀薄膜的部分而形成的第一精密遮挡板及第二精密遮挡板，及直线移动第一精密遮挡板及第二精密遮挡板的精密遮挡板驱动部。