[实用新型]一种紧凑型光纤MEMS声压传感器有效
| 申请号： | 201820120843.9 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN207763812U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 胡章武;张凡明;刘斌;刘庆;方中杰;崔翠;朱建明;胡浩 | 申请（专利权）人： | 安徽民生信息股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韩燕;金凯 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传输光纤 接收光纤 传感探头 敏感膜片 毛细管 声压 本实用新型 光电探测器 声压传感器 定位基材 光源 光纤 并排平行 固定夹角 传统的 灵敏度 双光纤 伸入 | ||
1.一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：包括有光源、声传感探头和光电探测器，所述的声传感探头包括有传输光纤、接收光纤、毛细管、以及固定于毛细管内的MEMS声压敏感膜片和定位基材；所述的传输光纤的一端与光源连接，所述的接收光纤的一端与光电探测器连接，所述的传输光纤的另一端、接收光纤的另一端均伸入到毛细管内且朝向MEMS声压敏感膜片，所述的定位基材与MEMS声压敏感膜片之间留有距离，传输光纤和接收光纤固定于定位基材上使得传输光纤和接收光纤之间形成背向MEMS声压敏感膜片的夹角2α，夹角2α范围20°—60°。
2.根据权利要求1所述的一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：所述的紧凑型光纤MEMS声压传感器还包括有与光电探测器连接的信号处理系统。
3.根据权利要求1所述的一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：所述的毛细管选用石英毛细管，所述的定位基材选用玻璃基材，玻璃基材和石英毛细管通过胶黏固定。
4.根据权利要求1所述的一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：所述的定位基材上设置有两个穿孔，两个穿孔的轴向延伸线形成背向MEMS声压敏感膜片的夹角，所述的传输光纤、接收光纤分别穿过对应的穿孔且与对应的穿孔内壁粘接固定。
5.根据权利要求1所述的一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：所述的传输光纤选用单模光纤，所述的接收光纤选用多模光纤。
6.根据权利要求1所述的一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：所述的MEMS声压敏感膜片选用MEMS氮化硅或多晶硅振动膜。
7.根据权利要求1所述的一种紧凑型光纤MEMS声压传感器，其特征在于：所述的光源选用LED光源或激光器。
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