[实用新型]一种废水处理系统

权利要求书

1.一种废水处理系统，其特征在于，包括：

第一废液系统，用于收集第一废液并对所述第一废液进行曝气处理，其中，所述第一废液中至少包括H₂O₂，所述曝气处理用于提高所述H₂O₂的降解速度；

第二废液系统，用于收集第二废液，所述第二废液中至少包括含氮物质；

化混系统，用于接收并混合所述第一废液系统及所述第二废液系统输出的液体；及

生化系统，用于接收所述化混系统输出的液体，其中，所述生化系统中含有微生物，所述微生物用于去除所述第二废液系统中的所述含氮物质。

2.根据权利要求1所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一废液中还包括碱性物质，所述第二废液中还包括酸性物质，其中，所述碱性物质与所述酸性物质在所述化混系统中进行中和反应。

3.根据权利要求2所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一废液中还包括IPA，所述IPA经由所述化混系统输入至所述生化系统，并为所述微生物提供碳源。

4.根据权利要求1所述的废水处理系统，其特征在于，所述第二废液中的所述含氮物质包括具有硝酸根的含氮物质，所述微生物通过反硝化反应去除所述含氮物质。

5.根据权利要求1所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一废液系统与所述化混系统之间设置有第一流量计及第一阀门，用于监控所述第一废液的流量；所述第二废液系统与所述化混系统之间设置有第二流量计及第二阀门，用于监控所述第二废液的流量。

6.根据权利要求1所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一废液系统包括一废水曝气池，所述废水曝气池容置所述第一废液，并用于对所述第一废液进行所述曝气处理。

7.根据权利要求6所述的废水处理系统，其特征在于，所述废水曝气池的底部设置有至少一个曝气头，其中，控制空气自所述曝气头进入所述废水曝气池内，使所述第一废液进行翻滚，以提高所述H₂O₂的降解速度。

8.根据权利要求7所述的废水处理系统，其特征在于，所述曝气头的数量依据所述废水曝气池的底部面积设定，其中，设置为每一平方米的区域由一个所述曝气头控制。

9.根据权利要求6所述的废水处理系统，其特征在于，所述第二废液系统包括废水收集池，用于容置所述第二废液；所述化混系统包括废水混合池，所述废水混合池分别与所述废水收集池以及所述废水曝气池相连通，以接收所述废水收集池及所述废水曝气池输出的液体；所述生化系统包括生化反应池，所述生化反应池的一端与所述废水混合池相连通，另一端将所述生化反应池中反应后的液体排放。

10.根据权利要求2所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一废液包括单晶刻蚀废液，其中的所述碱性物质包括KOH；所述第二废液包括多晶刻蚀废液，其中的所述酸性物质包括HF，其中的所述含氮物质包括HNO₃；所述微生物包括存在于活性污泥中的反硝化杆菌、斯氏杆菌及萤气极毛杆菌中的至少一种。

11.根据权利要求10所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一废液与所述第二废液的体积比介于(0.5～1.5)：(2.5～3.5)之间。

12.根据权利要求10所述的废水处理系统，其特征在于，所述化混系统中添加有CaCl₂及碱液，所述CaCl₂用于去除残余的所述第二废液中的氟离子，所述碱液用于中和残余的所述第二废液中的氢离子；或者，所述化混系统中添加有酸液，所述酸液用于中和残余的所述第一废液中的氢氧根离子。