[实用新型]一种利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置有效
| 申请号： | 201820128774.6 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN208038536U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人： | 株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 近距离 蒸发源 基板 加热 本实用新型 太阳能电池 制备装置 真空腔 薄膜太阳能电池 太阳能电池单元 相隔预定距离 基板加热器 高温加热 基板加热 热量施加 石英窗口 真空腔盖 制造工艺 热升华 沉积 制备 发热 驱动 节约 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，其特征在于，包括：
真空腔；
被固定在所述真空腔盖内侧面，用于响应从外部输入的加热器控制信号使基板加热用加热器发热，从而加热基板的基板加热器驱动部；
被安装在设置于真空腔底面上并与所述基板加热用加热器相隔预定距离的放置部上的基板；
设置在所述基板下方的近距离蒸发源；
根据操作人员的操作进行发热的元素加热用加热器；
设置在所述近距离蒸发源和所述元素加热用加热器之间，将所述元素加热用加热器产生的热量施加到所述近距离蒸发源的石英窗口。
2.根据权利要求1所述的利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，其特征在于，所述基板加热用加热器为设置在所述真空腔盖内侧面的至少一个加热器，且彼此相隔预定距离。
3.根据权利要求1所述的利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，其特征在于，所述元素加热用加热器用于把硒沉积到所述基板下方，所述基板加热用加热器用于使沉积的硒结晶化。
4.根据权利要求1所述的利用RTS的CIGS薄膜型太阳能电池的制备装置，其特征在于，还包括固定在所述元素加热用加热器的外板上并面向所述元素加热用加热器的冷却水供给部。
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