[实用新型]一种三甲基铝计量输送装置

说明书

本实用新型公开了一种三甲基铝计量输送装置，包括：承重传感器，放置在承重传感器上的TMA蒸发罐，连接TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；出料管路具有质量流量计，质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；补料管路设置有补料气动阀，且补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。该实用新型通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制以精确控制TMA的量，控制精度高，过程相对简便，管道不易堵塞，维护比较方便。

技术领域

本实用新型涉及一种计量输送设备，特别涉及一种三甲基铝计量输送在装置。

背景技术

三甲基铝( Trimethyl Aluminum，简称TMA，其分子式为C₃H₉Al)在常温常压下为无色透明液体，反应性极强，在空气中会自燃且瞬间就能着火；与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应；与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。

在光伏行业对硅电池片进行表面氧化铝镀膜时需要用到TMA，因而TMA的输送安全性尤为重要，现有技术的传统输送方式如下：

1、采用惰性气体，如氮气和氩气作为携带气体，通过混合或鼓泡的方式，通过对TMA混合气体计量再间接计算出TMA的量，其缺点是：TMA与携带气体混合的比例会受压力、温度等因素的影响，实际通过的TMA量不能准确测量，控制精度低；

2、采用TMA液体流量控制，再进行气化和混合，其缺点是：控制过程复杂，管道容易堵塞，维护不方便。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种三甲基铝计量输送装置，包括：

承重传感器，放置在所述承重传感器上的TMA蒸发罐，连接所述TMA蒸发罐的出料管路及补料管路，以及连接出料管路的吹气管路；

所述TMA蒸发罐具有温度传感器及液位传感器；

所述出料管路具有质量流量计，所述质量流量计设置有旁路气动阀及连接出口端设置有出料气动阀二；

所述吹气管路的出口端设置有吹气气动阀；

所述补料管路设置有补料气动阀，且所述补料管路通过手动补料阀连接至手动补料口，同时并联的通过自动补料阀连接至自动补料口。

其中，所述吹气管路的出口端连接至所述质量流量计入口端的出料管路上。

其中，所述吹气管路的出口端与所述出料管路的入口端之间的所述出料管路上设置有出料气动阀一。

其中，所述补料管路的出口端位于所述TMA蒸发罐的底端，所述出料管路的入口端位于所述TMA蒸发罐的顶端。

通过上述技术方案，本实用新型具有如下优点：

(1)通过精确的温度控制使TMA蒸发罐内压力恒定，再通过对TMA蒸气的控制实现精确控制TMA的量，控制精度高，可达±1%以内；

(2)通过承重传感器实时在线监控TMA重量，精度10克，可以实时根据生产要求，进行自动补液；

(3)通过温度传感器实时监控TMA系统温度，精度±1℃；

(4)补液功能：具备自动补液和手动补液功能，系统自动状态下，每次可以按照设定的重量进行进行自动补液；

(5)自动吹扫功能：系统可以对控制器件和管路进行自动吹扫，提高器件使用寿命和维护周期；

(6)TMA蒸发罐和承重传感器具备防爆功能；

(7)报警功能: