[实用新型]基于时分复用的散斑干涉三维动态检测系统有效
| 申请号： | 201820146275.X | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN207816196U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 阳建宏;魏宁;张建芳;黎敏;宋金连;刘福佳 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 斩波器 分光镜 反射镜 扩束镜 动态检测系统 本实用新型 散斑干涉 时分复用 扩束 三维 激光器发射激光 离面位移测量 高速CCD相机 待测物体 光路集成 光路系统 光束反射 力学技术 三维测量 三维位移 实时检测 物体表面 自动切换 激光器 准确度 参考光 反射 光路 照射 | ||
1.一种基于时分复用的散斑干涉三维动态检测系统，其特征在于：包括激光器(1)、斩波器(5)、CCD相机(13)、分光镜、反射镜和扩束镜，其中，分光镜、反射镜和扩束镜的数量均为一个以上，激光器(1)发射激光经由分光镜将激光分为两束，其中一束光束经分光镜进入斩波器(5)，在斩波器(5)的控制下由反射镜进入扩束镜，扩束后照在物体表面；另一束光束经由分光镜分光后再经过一次分光镜，分成两束光束，其中一束到达反射镜，通过斩波器(5)控制到达另一反射镜，最终通过扩束镜照射在待测物体表面，两次分光后的另外一束光束经由分光镜反射进入斩波器(5)，由斩波器(5)控制经由反射镜进入扩束镜，扩束后由分光镜将光束反射到高速CCD相机(13)中，作为离面位移测量的参考光。
2.根据权利要求1所述的基于时分复用的散斑干涉三维动态检测系统，其特征在于：包括3个分光镜、8个反光镜和3个扩束镜，激光器(1)发射激光经由分光镜二(3)将激光分为两束，光束一(18)经分光镜二(3)进入斩波器(5)，在斩波器(5)的控制下由反射镜四(8)、反射镜六(10)、反射镜七(11)和反射镜八(12)进入扩束镜三(17)，扩束后照在物体表面；光束二(19)经分光镜二(3)后再由分光镜一(2)到达反射镜一(4)，通过斩波器(5)控制到达反射镜三(7)，最终通过扩束镜一(15)照射在待测物体表面；光束三(20)的经分光镜二(3)后再由分光镜一(2)反射进入斩波器(5)，由斩波器(5)控制经由反射镜二(6)、反射镜五(9)进入扩束镜二(16)，扩束后由分光镜三(14)将光束反射到高速CCD相机(13)中，作为离面位移测量的参考光。
3.根据权利要求2所述的基于时分复用的散斑干涉三维动态检测系统，其特征在于：所述斩波器(5)控制三束激光交替出现，利用光束一(18)与光束二(19)通过，光束三(20)被挡住实现面内位移的测量；光束一(18)与光束三(20)通过，光束二(19)被挡住实现离面位移的测量。
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