[实用新型]一种真空镀膜装置

说明书

本实用新型提供一种真空镀膜装置，具体涉及真空镀膜技术领域，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内设有蒸发底板，蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个蒸发正电极和一个蒸发负电极通过一个蒸发舟连接，蒸发底板上设有上端开口处设有蒸发罩的围槽，围槽和蒸发罩之间形成容纳腔，蒸发正电极、蒸发负电极和蒸发舟均位于容纳腔内，位于容纳腔内的蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，第一挡板将蒸发罩分为多个蒸发区，一个蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个蒸发舟。本实用新型设有第一挡板形成蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜装置。

背景技术

近年来，随着市场经济的不断发展，真空镀膜技术和薄膜产业的发展已逐渐走向成熟，社会对功能性薄膜的需求日益增长，并得到广泛应用，像硫化锌薄膜这种重要的光电应用材料的研发和生产更为迫切。

真空镀膜技术是真空领域里面重要的一个分支，真空镀膜主要是在真空腔室里面进行，真空腔室必须是密闭环境，先对真空室进行抽真空，达到一定真空度后进行镀膜。

目前国内用于真空镀制硫化锌薄膜使用的真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内设有蒸发正电极、蒸发负电极和蒸发舟以及位于蒸发舟上方的镀膜辊，蒸发舟的两端连接蒸发正电极和蒸发负电极，蒸发舟内放置硫化锌固体，此时蒸发舟充当电阻的作用，接通蒸发电源，加热蒸发舟，使块状硫化锌迅速蒸发并沉积在包裹镀膜辊表面的镀膜基材上。但是，硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，从而造成薄膜表面硫化锌的均匀性差，影响产品品质。

专利双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备(公告号CN 202131365U)，公开了一种双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备，包括蒸发正电极、蒸发负电极、蒸发底板、蒸发围槽与两排蒸发舟，每个蒸发舟是折回式条带状蒸发舟，折回式条带状蒸发舟的前、后端设有向上翻折，每排蒸发舟无间隔排列成长通槽结构，折回式条带状蒸发舟条带两端与蒸发正电极、蒸发负电极分别连接，蒸发负电极位于两排蒸发舟之间，前排蒸发舟的前面与后排蒸发舟的后面分别排列安装蒸发正电极。放卷辊与镀膜辊之间，安装有冷却镀膜副辊。蒸发舟上方装有蒸发气体均匀分配罩。在整个镀膜幅宽面上连续盛装、蒸发硫化锌，蒸发量增大，镀膜速度成倍提高；整个幅宽面镀膜层均匀，厚度一致，不会产生光学折射和透射上的差异。但是该申请文件中的分配罩只设有密集排列的通孔，并不能减弱硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，因此并没有解决现有问题。

因此急需一种能够解决以上问题的真空镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜装置，设有所述第一挡板形成所述蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个所述蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内设有蒸发底板，所述蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个所述蒸发正电极和一个所述蒸发负电极通过一个所述蒸发舟连接，所述蒸发底板上设有上端开口的围槽，所述围槽的开口处设有蒸发罩，所述围槽和所述蒸发罩之间形成容纳腔，所述蒸发正电极、所述蒸发负电极和所述蒸发舟均位于所述容纳腔内，位于所述容纳腔内的所述蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，所述第一挡板将所述蒸发罩分为多个蒸发区，一个所述蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个所述蒸发舟。硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，设有所述第一挡板形成所述蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个所述蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。