[实用新型]一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘

权利要求书

1.一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘，其特征在于，该抛光盘为圆盘形，所述抛光盘包括抛光层、弹性层和底层，所述抛光层与弹性层固定连接，所述弹性层和底层固定连接；所述抛光层上开设有排屑槽，所述排屑槽以所述抛光层的中心为圆心沿着径向设置,所述排屑槽深度为0.1-0.15mm，所述抛光层上抠挖有三个不同几何形状的孔洞，孔洞中通过粘贴蜡紧密的黏贴内嵌有三个磨块，孔洞几何形状与磨块几何形状互相吻合；所述弹性层由若干个间隔弹性块组成；所述底层上开设有空冷通道，所述空冷通道的两端开口对称设置在底层侧面，所述空冷通道是以所述底层的中心为圆心的圆环，所述空冷通道直径为0.1-0.2mm。

2.如权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘，其特征在于，所述排屑槽至少为4条。

3.如权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘，其特征在于，所述磨块采用粒径小于100nm的氮化硅材质。

4.如权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘，其特征在于，所述磨块形状为梯形、菱形、长方形、三角形或者圆形的任意一种，三个磨块形状互不相同。

5.如权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘，其特征在于，磨块上表面与抛光层外表面相平齐。

6.如权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板抛光机用抛光盘，其特征在于，所述弹性块至少为四个。