[实用新型]一种在线检测研磨垫使用周期的装置

权利要求书

1.一种在线检测研磨垫使用周期的装置，设于研磨垫修整器内部，所述研磨垫修整器内部设有压力机构，其特征在于，所述装置包括：

上电极，联动设于压力机构的下端；

下电极，固设于研磨垫修整器内部的底面上；

电源，用于与上电极和下电极形成测量回路；

算法控制单元，用于当上电极随压力机构下降进行研磨垫修整时，根据上电极与下电极之间侧面接触面积的变化所引起的测量回路电阻变化，计算研磨垫消耗率，以计算出研磨垫使用寿命。

2.根据权利要求1所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述上电极与下电极的接触侧面形成楔形配合面。

3.根据权利要求1所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述上电极为顶边大于底边的直角倒梯形体，下电极为底边大于顶边的直角正梯形体。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述下电极采用可调式绕线电阻结构。

5.根据权利要求1所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述下电极与电源、电源连接导线安装于研磨垫修整器内部的底面上。

6.根据权利要求1或5所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述电源为直流电源。

7.根据权利要求1所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述上电极为正电极、下电极为负电极；或者，所述上电极为负电极、下电极为正电极。

8.根据权利要求1所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述压力机构下方联动设有研磨垫修正盘。

9.根据权利要求1所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述算法控制单元设有输出单元，所述输出单元用于输出算法控制单元的计算结果。

10.根据权利要求1或9所述的在线检测研磨垫使用周期的装置，其特征在于，所述算法控制单元还设有报警单元，所述报警单元用于在测量回路电阻或电流超出电阻或电流阈值时输出警报。