[实用新型]一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置

权利要求书

1.一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，包括具有主轴的加工机床、用于放置工件的工作台、设于所述主轴的圆柱形铣磨头、与所述工作台转动连接且用于将所述圆柱形铣磨头修整为圆锥形铣磨头的导电修整轮、用于驱动所述导电修整轮转动的驱动装置、以及与所述圆柱形铣磨头及所述导电修整轮均电连接且用于使所述导电修整轮对所述圆柱形铣磨头的侧表面放电加工的脉冲电源。

2.根据权利要求1所述的一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，所述圆柱形铣磨头的直径范围为0.1毫米～5毫米。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，所述圆柱形铣磨头的粒度范围为60目～1500目。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，所述导电修整轮为圆柱状的铜电极修整轮，所述导电修整轮的直径范围为30毫米～500毫米，所述导电修整轮的厚度范围为10毫米～500毫米。

5.根据权利要求1或2所述的一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，所述圆柱形铣磨头与所述脉冲电源之间设有导电碳刷。

6.根据权利要求1或2所述的一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，所述圆柱形铣磨头的转速范围为1000转/分钟～5000转/分钟，所述导电修整轮的转速范围为100转/分钟～1000转/分钟；所述圆柱形铣磨头的单次进给深度范围为1微米～20微米，所述圆柱形铣磨头的进给速度范围为50毫米/分钟～1000毫米/分钟。

7.根据权利要求1或2所述的一种用于微阵列结构加工的微型磨头的加工装置，其特征在于，所述脉冲电源放电修整时的脉冲电压范围为0伏～200伏，脉冲宽度范围为1微秒～200微秒，脉冲间隔范围为1微秒～200微秒。