[实用新型]一种各向异性导电膜邦定机构有效
申请号: | 201820172501.1 | 申请日: | 2018-02-01 |
公开(公告)号: | CN207993815U | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 李培新 | 申请(专利权)人: | 东莞市镇曜电子塑胶制品有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 511340 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 邦定机 导电膜 侧盖板 铰链 各向异性导电膜 邦定机构 焊接固定 内部气体 一端设置 出风口 出风盘 本实用新型 表面设置 卡扣固定 设备生产 舒适度 工作台 出风 进气 卡扣 溢出 电机 流动 加工 | ||
1.一种各向异性导电膜邦定机构,包括导电膜邦定机(1),其特征在于:所述导电膜邦定机(1)的两侧分别设置有侧盖板(2),所述侧盖板(2)的一端设置有铰链(3),所述铰链(3)的一端通过焊接固定安装在侧盖板(2)的一端,所述铰链(3)的另一端通过焊接固定安装在导电膜邦定机(1)的表面,所述侧盖板(2)的另一端设置有卡扣(4),所述侧盖板(2)通过铰链(3)和卡扣(4)固定安装在导电膜邦定机(1)的一侧,所述侧盖板(2)的表面设置有出风盘(5),所述出风盘(5)通过焊接固定安装在侧盖板(2)的表面,所述出风盘(5)的内部设置有出风口(6),所述出风口(6)通过焊接固定安装在出风盘(5)的内部,所述出风盘(5)的一端设置有导气软管(7),所述导气软管(7)的一端通过螺帽固定安装在出风盘(5)的一端,所述导气软管(7)的另一端贯穿导电膜邦定机(1)的表面并设置有进气风机(8),所述进气风机(8)通过螺栓固定安装在导电膜邦定机(1)的内部,所述进气风机(8)的另一端设置有进气口(9),所述进气口(9)通过螺帽固定安装在进气风机(8)的一端,所述进气口(9)的一侧设置有进气窗(10),所述进气窗(10)固定安装在导电膜邦定机(1)的表面,所述导电膜邦定机(1)的表面设置有过滤仓(11),所述过滤仓(11)通过焊接固定安装在导电膜邦定机(1)的表面,所述过滤仓(11)的内部设置有滤网(12),所述滤网(12)通过螺钉固定安装在过滤仓(11)的内部,所述过滤仓(11)的一端设置有排气管(13),所述排气管(13)的一端固定安装在过滤仓(11)的一端,所述排气管(13)的另一端贯穿导电膜邦定机(1)的表面并设置有排气风机(14),所述排气风机(14)通过螺栓固定安装在导电膜邦定机(1)的内部,所述排气风机(14)的一侧设置有活性炭滤桶(15),所述活性炭滤桶(15)固定安装在导电膜邦定机(1)的内部,所述排气风机(14)和活性炭滤桶(15)通过导管连接,所述活性炭滤桶(15)的内部设置有滤管(16),所述活性炭滤桶(15)的另一端设置有排气口(17),所述排气口(17)的一端贯穿导电膜邦定机(1)的表面并嵌入到活性炭滤桶(15)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种各向异性导电膜邦定机构,其特征在于:所述出风盘(5)为圆台形结构,所述出风口(6)为圆柱形短管,所述导气软管(7)为L形橡胶管。
3.根据权利要求1所述的一种各向异性导电膜邦定机构,其特征在于:所述过滤仓(11)为楔形结构,所述滤网(12)的边缘处与过滤仓(11)内表面密封,且滤网(12)为方形板状结构。
4.根据权利要求1所述的一种各向异性导电膜邦定机构,其特征在于:所述滤管(16)为S形长管,且滤管(16)内部的气体通过滤管(16)表面的透气孔进入到活性炭滤桶(15)的内部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造