[实用新型]一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201820174857.9 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN208023082U | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 钱栋力 | 申请（专利权）人： | 浙江通达磁业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314407 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜箱 镀膜设备 真空镀膜设备 离子发生器 基片夹具 加热设备 控制芯片 放电箱 真空泵 磁芯 镀膜 本实用新型 真空泵电机 导电装置 定时模块 镀膜流程 控制模块 人力资源 智能模块 固定架 人性化 旋转叶 智能化 侧壁 底端 坩埚 轴承 输出 监管 协调 | ||
1.一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备，由镀膜设备(1)构成，其特征在于：所述镀膜设备(1)由镀膜箱(2)和加热设备(3)构成，所述加热设备(3)位于镀膜箱(2)的底端且通过固定架与镀膜箱(1)固定连接，所述镀膜箱(2)顶部设有放电箱(4)，所述放电箱(4)内部设有离子发生器(7)，所述镀膜箱(2)侧壁上设有真空泵(5)，所述真空泵(5)内的旋转叶通过轴承于真空泵电机连接，所述镀膜箱(2)内部设有基片夹具(8)和坩埚(10)，所述基片夹具(8)的一端上设有基片(9)，另一端通过导电装置与离子发生器(7)连接，所述坩埚(10)通过导热装置与加热设备(3)内部的加热器(11)连接；
所述加热设备(3)外部设有控制器(6)，所述控制器(6)外部设有显示屏、控制按键，所述控制器(6)内部设有控制芯片(12)、电路控制板(13)和显示解调器(14)，所述控制芯片(12)通过集成线分别与控制按键、真空泵电机、离子发生器(7)、加热器(11)、电路控制板(13)和显示解调器(14)，所述显示解调器(14)通过视频线与显示屏连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备,其特征在于：所述控制芯片(12)内部设有定时模块、控制模块和解析模块。
3.根据权利要求1所述的一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备,其特征在于：所述镀膜箱(2)和加热设备(3)上均设有橡胶绝缘膜套，所述橡胶绝缘膜套均通过螺丝固定于镀膜箱(2)和加热设备(3)外壁上。
4.根据权利要求1所述的一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备，其特征在于：所述与控制芯片(12)连接的集成线内部由电源连接、信息传输线和信息接收线构成。
5.根据权利要求1所述的一种用于磁芯镀膜的真空镀膜设备，其特征在于：所述电路控制板(13)内部板体设有电路保护装置。
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