[实用新型]一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机

权利要求书

1.一种玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，包括具有金属进气管(11)的高真空金属扩散泵(1)、具有充气端和排气端的玻璃管道(2)及连接金属进气管(11)和玻璃管道(2)排气端的接驳装置，其特征在于：

所述接驳装置包括金属连接接头、紧压在金属连接接头上部的上压盖(3)、连接在金属连接接头下部的金属连接管(4)及嵌入金属连接接头内的密封组件，金属连接接头、上压盖(3)及密封组件均套装在玻璃管道(2)上；

所述密封组件包括自下而上依次叠置的一级密封圈(51)、中间压环(52)、二级密封圈(53)及上压环(54)，上压盖(3)通过紧固件锁紧在金属连接接头上并向下紧压上压环(54)；

所述金属连接管(4)与金属进气管(11)通过哈夫夹密封组件(55)接驳并连通。

2.根据权利要求1所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述金属连接接头内部为空腔且上下两端贯通，金属连接接头包括主体(61)及连接在主体(61)下部的接驳口(62)，主体(61)内部设有第一定位空槽(611)，玻璃管道(2)插装入第一定位空槽(611)内并抵靠在接驳口(62)上，金属连接管(4)连接在接驳口(62)下部，接驳口(62)的外径小于主体(61)的外径。

3.根据权利要求2所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述金属连接接头还包括开设在第一定位空槽(611)上部的第二定位空槽(63)，第二定位空槽(63)直径大于第一定位空槽(611)直径，密封组件嵌入第二定位空槽(63)内，上压环(54)凸出于金属连接接头表面。

4.根据权利要求2所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述金属连接接头外侧面环设有固定台(64)，固定台(64)低于金属连接接头上表面，上压盖(3)底面中心设有安装凹槽(641)，安装凹槽(641)套装在金属连接接头上，上压盖(3)与固定台(64)通过紧固件锁紧连接。

5.根据权利要求1所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述金属连接接头和金属连接管(4)均由不锈钢制造而成。

6.根据权利要求1所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述一级密封圈(51)和二级密封圈(53)均有橡胶或塑料制造而成。

7.根据权利要求1所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述高真空金属扩散泵(1)通过管道连接有机械泵(7)。

8.根据权利要求1-7任一项所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述玻璃管道(2)充气端上设有若干用于套装待加工光源的玻璃架子(8)，玻璃管道(2)充气端通过管道分别连接有充洗氩气瓶(9)及油表(91)，玻璃管道(2)充气端与油表(91)之间设有一号高真空阀门(92)，玻璃管道(2)充气端与充洗氩气瓶(9)之间设有二号高真空阀门(93)。

9.根据权利要求8所述玻璃管道和金属连接接头直接连接的充排气机，其特征在于，所述玻璃管道(2)充气端和排气端之间设有三号高真空阀门(94)，玻璃管道(2)上连接有高真空玻璃规管(95)，高真空玻璃规管(95)位于三号高真空阀门(94)和玻璃管道(2)排气端之间。