[实用新型]CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统

说明书

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱(1)和反应室(2)后连接至变压器(106)；有一温度传感器(103)安装于反应室(2)的内壁上，且温度传感器(103)的导线穿出反应室(2)的壳体后经由穿线孔(1.1)连接至处理器(111)。本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，能耗低且感应快。

技术领域

本实用新型涉及一种CVD化学蒸汽沉积炉加热系统，尤其是涉及一种应用新型CVD化学蒸汽沉积炉专用加热电源构成的加热系统。

背景技术

化学气相沉积是一种材料表面改性技术，它是在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度的条件下，通过挥发物气体分解或者化合反应后在基体材料的表面沉积成膜，这种膜强化技术选用的基材广泛、适用面广，已广泛应用于机械制造、冶金、电镀等领域。化学气相沉积采用的设备为CVD化学蒸汽沉积炉加热系统：其主要包含有气相反应室、加热系统、气体控制系统、排气系统组成。而其中的加热系统，是整个系统核心部件之一，通过控制反应室温度来实现气体分解或者化合反应，达到在基体上沉积成膜的效果；其提供的热边界条件是外延生长研究的前提和基础，均匀有效的温度对实际生长性能具有重要影响；而每一个特定的加热腔体都需要一个与之匹配的加热电源，加热电源通过低电压、高电流、恒功率的工作输出特性，达到加热区域温度均匀、升温降温速度快、温度快速稳定的性能。但是，如今国内的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统均为进口，缺乏自主产品，且进口的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统存在能耗高、反应慢的缺陷。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种能耗低且感应快的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述系统包含有电器箱和反应室，所述反应室位于电器箱上方，所述电器箱内安装有PCB线路板，所述电器箱的箱壁上安装有接线端子，且电器箱的箱壁上开设有穿线孔；所述反应室的底部设置有导热板，所述导热板内嵌置有加热板，所述加热板包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱和反应室后连接至变压器，且铠装电缆上串接有一继电器的被控制端，该继电器的控制端通过导线连接至处理器；三相电源线穿过穿线孔连接至PCB线路板上的整流模块，所述整流模块经安装于PCB线路板上的逆变器后通过导线连接至变压器，且逆变器和变压器之间的导线上设置有互感器模块，所述互感器模块安装于PCB线路板，且互感器模块连接至PWM驱动电路，所述PWM驱动电路连接至逆变器；有一温度传感器安装于反应室的内壁上，且温度传感器的导线穿出反应室的壳体后经由穿线孔连接至处理器。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述反应室的壳壁上安装有液晶显示器，所述液晶显示器的通信线缆穿线孔后连接至PCB线路板上的LCD驱动模块，该LCD驱动模块与处理器相连接。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述处理器和PWM驱动电路分别通过导线连接至接线端子。

本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，所述整流模块和逆变器均为基于MOSFET构成的电路；或者逆变器108基于IGBT构成的快速响应逆变回路。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：