[实用新型]高产能薄膜沉积装置

权利要求书

1.一种高产能薄膜沉积装置，其特征在于，包括：

沉积腔，数量不少于1个，其中至少一个设有沉积源；

原始带卷盘腔，其内设有与走带系统相连的原始基带盘，且通过第一基带真空锁与沉积腔相连；

以及产品带卷盘腔，其内设有与走带系统相连的产品基带盘，且通过第二基带真空锁与沉积腔相连；

所述原始带卷盘腔、沉积腔和产品带卷盘腔均连接有抽真空装置和去真空装置，所述第一及第二基带真空锁在有带材从中穿过且带材处于静止状态的情况下对原始带卷盘腔、沉积腔和产品带卷盘腔进行高真空密封。

2.根据权利要求1所述的高产能薄膜沉积装置，其特征是，所述第一及第二基带真空锁均由阀体和活塞构成，阀体内设有活塞腔体，活塞可活动的设置于活塞腔体内并在底部固定有真空密封套，真空密封套底部和阀体之间设有基带通道，真空密封套通过活塞压于带材上进行高真空密封。

3.根据权利要求1或2所述的高产能薄膜沉积装置，其特征是，所述第一及第二基带真空锁在进行高真空密封时，漏气率小于10^-5Torr.l/s。

4.根据权利要求1所述的高产能薄膜沉积装置，其特征是，所述沉积腔连接有第一高真空泵，所述第一高真空泵经管路连接至第一粗抽真空泵，所述第一高真空泵和第一粗抽真空泵之间设有第一粗抽阀。

5.根据权利要求4所述的高产能薄膜沉积装置，其特征是，所述原始带卷盘腔、产品带卷盘腔分别经管路连接至第一粗抽真空泵；所述原始带卷盘腔与第一粗抽真空泵之间设有第一去真空阀和第二粗抽阀，所述产品带卷盘腔与第一粗抽真空泵之间设有第二去真空阀和第三粗抽阀；所述原始带卷盘腔与沉积腔通过管路相连并在管路上设有第一渐抽阀，所述产品带卷盘腔与沉积腔通过管路相连并在管路上设有第二渐抽阀。

6.根据权利要求4所述的高产能薄膜沉积装置，其特征是，所述原始带卷盘腔经第一高真空阀连接至第二高真空泵，所述第二高真空泵经管路连接至第二粗抽真空泵，所述第二高真空泵与第二粗抽真空泵之间设有第一支持阀，所述第二粗抽真空泵经管路连接至原始带卷盘腔并且在管路上设有第四粗抽阀；

所述产品带卷盘腔经第二高真空阀连接至第三高真空泵，所述第三高真空泵经管路连接至第三粗抽真空泵，所述第三高真空泵与所述第三粗抽真空泵之间设有第二支持阀，所述第三粗抽真空泵经管路连接至产品带卷盘腔并且在管路上设有第五粗抽阀；

所述原始带卷盘腔的腔壁上设有第三去真空阀，所述产品带卷盘腔的腔壁上设有第四去真空阀。