[实用新型]石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置

权利要求书

1.一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，加热单元包括坩埚加热板，坩埚加热板上设置有模具加热管组，模具加热管组与三相供电电路相连，以便通过三相供电电路为模具加热管组供电，其特征在于，它包括：

控制器(1)；

电流传感器(2)，所述电流传感器(2)连接在三相供电电路的零线(3)上，以便通过电流传感器检测经过零线(3)的电流值，所述电流传感器(2)和控制器(1)的信号输入端相连，以便电流传感器(2)将检测到的电流值反馈至控制器(1)；

报警装置，所述报警装置的信号输入端和控制器(1)相连，以便控制器(1)接收到的电流值超出控制器(1)所设置的电流值区间时，所述控制器(1)控制报警装置动作。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，其特征在于：所述模具加热管组包括至少三个模具加热管(4)，所有模具加热管(4)呈星型连接，所述模具加热管(4)的一端连接在三相供电电路的相线上，所述模具加热管(4)的另一端连接在三相供电电路的零线(3)上。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，其特征在于：所述模具加热管(4)设置有八个，三相供电电路的A相线和B相线上分别连接有三个模具加热管(4)，所述三相供电电路的C相线上连接有两个模具加热管(4)。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，其特征在于：所述报警装置包括蜂鸣器(5)和/或报警灯(6)，所述蜂鸣器(5)和/或报警灯(6)与控制器(1)相连，以便通过控制器(1)控制蜂鸣器(5)响和/或报警灯(6)亮。