[实用新型]CMP设备腔室保湿用喷雾器

权利要求书

1.一种CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，包括：

储液罐；

喷雾管座，所述喷雾管座设在所述储液罐上，所述喷雾管座上设有进液接头以向所述储液罐内注入液体；

喷雾组件，所述喷雾组件与所述喷雾管座相连，所述喷雾组件包括：

喷液吸管，所述喷液吸管的一端与所述储液罐连通；

二流体喷雾头，所述二流体喷雾头设在所述喷液吸管的另一端以将所述储液罐内的液体雾化喷出。

2.根据权利要求1所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述喷雾组件还包括：活动空心软管，所述喷液吸管的至少一部分位于所述活动空心软管内，所述活动空心软管的一端与所述喷雾管座相连且另一端与所述二流体喷雾头相连。

3.根据权利要求2所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述喷雾组件包括至少两个，所述至少两个喷雾组件在所述喷雾管座上间隔布置。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述二流体喷雾头包括：

喷雾座，所述喷雾座的中部形成有中心通孔；

进气接头，所述进气接头通过所述喷雾座上的第一安装位与所述喷雾座相连；

软管接头，所述软管接头通过所述喷雾座上的第二安装位与所述喷雾座相连；

喷雾帽，所述喷雾帽通过所述喷雾座上的第三安装位与所述喷雾座相连，所述喷雾帽具有与所述中心通孔同轴设置的喷孔。

5.根据权利要求4所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述喷雾座与所述喷雾帽之间还设有密封件，所述喷雾座与所述喷雾帽之间通过螺钉相连。

6.根据权利要求5所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述第三安装位的内底面的周缘设有密封件容纳槽，所述密封件的一部分位于所述密封件容纳槽外并止抵所述喷雾帽；

其中，所述喷雾帽、所述密封件以及所述喷雾座之间形成有连通所述软管接头的液体流道。

7.根据权利要求6所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述喷雾座上设有连通孔，所述连通孔的一端与所述软管接头连通且另一端与所述液体流道连通。

8.根据权利要求7所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述喷液吸管的所述另一端插接至所述连通孔内，且所述喷液吸管与所述连通孔过盈配合。

9.根据权利要求4所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述进气接头内形成有进气通道，所述喷雾座邻近所述第一安装位处设有通气孔，所述通气孔的一端与所述进气通道连通且另一端与所述中心通孔连通；

其中，所述中心通孔邻近所述喷孔的一端的径向尺寸小于所述中心通孔远离所述喷孔的一端的径向尺寸。

10.根据权利要求4所述的CMP设备腔室保湿用喷雾器，其特征在于，所述喷雾管座上设有进液孔和溢流孔，所述进液孔与所述进液接头连通，当所述储液罐内的液体达到溢流水位时，液体通过所述溢流孔流出。