[实用新型]一种管式PECVD自动上下料装置

说明书

本实用新型公开了一种管式PECVD自动上下料装置，涉及太阳能电池设备技术领域；包括悬臂结构、手抓结构、升降结构以及相平行的两条竖向型材，且两条竖向型材上均设置有悬臂结构，升降结构用于驱动悬臂结构在竖向型材上往复运动；悬臂结构包括第一悬臂和第二悬臂，第一悬臂的中部安装在竖向型材上，第一悬臂的下表面滑动安装有第一连接板，第一连接板在第一悬臂上往复运动；第二悬臂与第一连接板固定连接，第二悬臂的下表面滑动安装有第二连接板，第二连接板在第二悬臂上往复运动；手抓结构固定安装在第二连接板上；本实用新型的有益效果是：增加了管式PECVD自动上下料装置的承载能力，提高了自动上下料是速度，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体的说，本实用新型涉及一种管式PECVD自动上下料装置。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

随着PECVD设备技术的发展，降成本、大产能的要求越来越高，单管的产能也越来越大，石墨舟也越来越大，石墨舟重量也越来越大，对石墨舟的自动上下料提出了新的需求。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种管式PECVD自动上下料装置，该管式PECVD自动上下料装置能够实现石墨舟的自动上下料运输，提高了对石墨舟的承载能力，缩短石墨舟的上下料时间。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD自动上下料装置，其改进之处在于：包括悬臂结构、手抓结构、升降结构以及相平行的两条竖向型材，且两条竖向型材上均设置有悬臂结构，所述的升降结构用于驱动悬臂结构在竖向型材上往复运动；

所述的悬臂结构包括第一悬臂和第二悬臂，所述第一悬臂的中部安装在竖向型材上，第一悬臂的下表面滑动安装有第一连接板，第一连接板在第一悬臂上往复运动；所述的第二悬臂与第一连接板固定连接，第二悬臂的下表面滑动安装有第二连接板，所述第二连接板在第二悬臂上往复运动；

所述的手抓结构固定安装在第二连接板上，通过该手抓结构对石墨舟进行抓取。

在上述的结构中，所述的升降结构包括升降电机和传动杆；

所述竖向型材的底部设置有主动端，且主动端内部设置有主动轮，所述升降电机的电机轴与其中一个竖向型材的主动轮的一端相连接，所述的传动杆连接在两个竖向型材的主动轮之间；

所述竖向型材的顶部设置有从动端，且从动端内部设置有从动轮，所述主动轮和从动轮之间套有升降皮带，且升降皮带上固定安装着一滑块连接板，所述的悬臂结构固定在滑块连接板上。

在上述的结构中，所述的两条竖向型材之间还设置有上定位板和下定位板；

所述的上定位板的一端固定安装在其中一条竖向型材的顶部，上定位板的另一端固定安装在另一条竖向型材的顶部；所述的下定位板的一端固定安装在其中一条竖向型材的底部，下定位板的另一端固定安装在另一条竖向型材的底部。

在上述的结构中，所述的悬臂结构还包括一模组连接板，该模组连接板与滑块连接板固定连接，且所述的第一悬臂固定安装在模组连接板上。

在上述的结构中，所述的悬臂结构还包括第一横向电机和第一横向传动轴，

所述第一悬臂的一端设置有第一主动轮轴，第一横向电机与第一主动轮轴的一端固定连接，所述第一横向传动轴固定连接在两个第一悬臂的第一主动轮轴之间；