[实用新型]一种MEMS加速度计

权利要求书

1.一种MEMS加速度计，其特征在于，包括：基板、可动部件以及固定电极组；

所述基板表面具有锚定区域；

所述可动部件通过支撑梁与所述锚定区域连接，并悬置于所述基板上方，所述可动部件包括第一质量块和第二质量块；

所述第一质量块的中部具有第一镂空区域，所述第一镂空区域为“工”形，所述第二质量块位于所述第一镂空区域中；

所述固定电极组包括第一电极组，所述第一电极组固定于所述基板表面，位于所述基板与所述可动部件之间，并与所述第一质量块和所述第二质量块形成Z轴检测电容组，以检测沿Z轴输入的加速度，所述Z轴为垂直于所述可动部件所在平面的方向。

2.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第一电极组包括至少5对固定电极对E1-E5，沿Y轴方向依次设置，其中固定电极对E1、E3、E5与所述第一质量块形成第一Z轴检测电容组，固定电极对E2、E4与所述第二质量块形成第二Z轴检测电容组，所述Y轴方向位于所述可动部件所在平面内，并与所述Z轴方向垂直。

3.如权利要求2所述的MEMS加速度计，其特征在于，每对所述固定电极对E1-E5分别包括沿X轴设置的两个固定电极，位于锚定区域的两侧，所述X轴与所述Y轴和所述Z轴均垂直。

4.如权利要求2所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述固定电极对E2与E4分别都为一个整体电极。

5.如权利要求2所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述固定电极组还包括第二电极组和第三电极组，通过锚点固定于所述基板上方，并与所述可动部件位于同一层，所述第二电极组和所述第三电极组分别与所述第一质量块形成X轴检测电容组和Y轴检测电容组。

6.如权利要求5所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第一质量块具有第二镂空区域和第三镂空区域，所述第二电极组位于所述第二镂空区域中，所述第三电极组位于所述第三镂空区域中。

7.如权利要求6所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第二镂空区域和所述第三镂空区域分别包括偶数个子区域，沿X轴位于所述锚定区域的两侧。

8.如权利要求5所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第二电极组和所述第三电极组均为梳齿电极。

9.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第一质量块和所述第二质量块通过转动梁组连接，使得所述第一质量块与所述第二质量块受到沿Z轴输入的加速度时在Z轴方向上平动，且运动方向相反。

10.如权利要求9所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述转动梁组包括4个转动梁，所述转动梁通过弹性梁与所述第一质量块和所述第二质量块连接，所述转动梁的中部连接至所述支撑梁，使得所述第一质量块和所述第二质量块通过所述转动梁组形成杠杆结构。

11.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述锚定区域被所述第一镂空区域分隔为两部分，每部分至少具有一个锚点。