[实用新型]一种卧式双腔工艺炉

说明书

一种卧式双腔工艺炉，包括整体框架、工艺反应腔和预加热腔，整体框架外侧铺贴有封板，内部左侧安装有工艺反应腔，工艺反应腔的外侧连接有真空泵，整体框架内部右侧安装有预加热腔，预加热腔和工艺反应腔的腔内底部分别平行设置有一对进出导轨，进出导轨内侧安装有限位块，预加热腔和工艺反应腔的前后出口焊接有水冷真空密封法兰，前出口分别连接自动升降门，后出口铰接有平开门。一体双腔设计，一方面大大缩短预热时间，另一方面可实现工件快速转移，提升工作效率；单独预热减少加热元件单次启用时间，降低故障率，降低维护成本；此外，工艺反应腔和预加热腔内设计有进出导轨，方便工件平稳进出，外侧采用整体框架，使用安全、稳定。

技术领域

本实用新型属于单晶硅片真空镀膜设备领域，具体涉及一种卧式双腔工艺炉。

背景技术

单晶硅片真空镀膜技术是一种结合真空技术与热处理技术的新型工艺技术，与普通的热处理方式相比，可实现无污染、效率高、提高工件的发电效率无脱碳、无渗碳等作用，让工件表面光亮洁净，而单纯使用真空工艺炉，预热时间长、加热不均匀、电子元器件长时间工作，易损坏，维护费用高。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种节约空间、工艺反应腔和预加热腔一体的卧式双腔工艺炉。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种卧式双腔工艺炉，包括整体框架、工艺反应腔和预加热腔，所述整体框架外侧油门，便于检修框架内的各个零部件，内部左侧安装有所述工艺反应腔，所述工艺反应腔的外侧连接有真空泵，所述整体框架内部右侧安装有所述预加热腔，所述预加热腔和所述工艺反应腔的腔内底部分别平行设置有一对进出导轨，预热腔和工艺反应腔的左右位置会根据现场调换，所述进出导轨内侧安装有限位块，所述预加热腔和所述工艺反应腔内壁设置有加热元件和感温元件，外侧包裹有保温层，所述保温层外侧封有不锈钢板，所述预加热腔和所述工艺反应腔的前出口分别连接自动升降门，后出口分别铰接有平开门，前后出口与所述自动升降门和所述平开门之前分别对接有水冷真空密封法兰，所述水冷真空密封法兰外侧连接有水冷水管。

所述整体框架内还安装有PLC温度控制器，所述PLC温度控制器与所述加热元件和感温元件电性连接。

所述工艺反应腔和预加热腔底部设置有可调节地脚。

所述预加热腔、工艺反应腔的内腔和水冷真空密封法兰采用316L不锈钢。

所述不锈钢板采用304不锈钢。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用一体双腔设计，工艺反应腔和预加热腔并排安装，一方面，单独预热可使工件温度快速提高，大大缩短预热时间，另一方面，腔体距离近，可实现工件快速转移，提升工作效率；单独预热减少加热元件单次启用时间，降低故障率，降低维护成本；此外，工艺反应腔和预加热腔内设计有进出导轨，方便工件平稳进出，外侧采用整体框架，使用安全、稳定。

附图说明

图1是本实用新型的俯视图；

图2是本实用新型的后视图；

图3是本实用新型的左视图。

附图中：1.整体框架；2.工艺反应腔；3.预加热腔；4.真空泵；5.进出导轨；6.限位块；7.保温层；8.不锈钢板；9.水冷真空密封法兰；10.水冷水管；11.自动升降门；12.平开门；13.PLC温度控制器；14.调节地脚。

具体实施方式