[实用新型]一种扩散炉用炉门

说明书

本实用新型涉及扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用炉门，包括石英门和铝门板，石英门为槽状，铝门板的板面将石英门的槽口遮挡，铝门板和石英门固定连接，石英门的槽底铺设保温棉，石英门的槽壁中部设有向内凸出的凸缘，保温棉填充在凸缘和石英门的槽底之间，且在保温棉和凸缘之间设有用来压制保温棉的压板，铝门板的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构，石英门延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门和铝门板双重封闭，并且在石英门内部填充保温棉，起到保温、隔热效果。

技术领域

本实用新型涉及扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用炉门。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉使用时，炉内温度很高，对炉门的耐高温要求很高，现有技术中使用的扩散炉炉门耐高温程度不高、隔热效果差，长期使用之后，炉门容易损坏和腐蚀，造成资源的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种耐高温程度高、隔热效果好且使用寿命较长的扩散炉用炉门。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉用炉门，包括石英门和铝门板，石英门为槽状，铝门板的板面将石英门的槽口遮挡，铝门板和石英门固定连接，石英门的槽底铺设保温棉，石英门的槽壁中部设有向内凸出的凸缘，保温棉填充在凸缘和石英门的槽底之间，且在保温棉和凸缘之间设有用来压制保温棉的压板，铝门板的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构。

所述保温棉的中部设有夹板，夹板和压板平行间距布置，夹板的一侧板面固定螺帽且该侧面向压板，在压板的外侧通过第一螺栓和所述螺帽配合实现压板、保温棉和夹板的紧固连接。

所述石英门内设置固定板，固定板和压板平行间距布置，固定板和铝门板之间通过第二螺栓连接固定，第二螺栓中套设弹簧。

所述铝门板和扩散炉炉口端部配合的位置处布置密封圈。

有益效果：本申请的炉门采用双重门，即石英门和铝门板相结合，具体使用时，石英门延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，适用于扩散炉的高温环境，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门和铝门板双重封闭，并且在石英门内部填充保温棉，起到保温效果，使得扩散炉的保温、隔热效果较好。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合图1，对本实用新型作进一步的描述。

一种扩散炉用炉门，包括石英门10和铝门板20，石英门10为槽状，铝门板20的板面将石英门10的槽口遮挡，铝门板20和石英门10固定连接，石英门10的槽底铺设保温棉30，石英门10的槽壁中部设有向内凸出的凸缘11，保温棉30填充在凸缘11和石英门10的槽底之间，且在保温棉30和凸缘11之间设有用来压制保温棉30的压板40，铝门板20的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构。

本申请的炉门采用双重门，即石英门10和铝门板20相结合，具体使用时，石英门10延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板20的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，适用于扩散炉的高温环境，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门10和铝门板20双重封闭，并且在石英门10内部填充保温棉30，起到保温效果，使得扩散炉的保温、隔热效果较好。其中移动机构可以采用气缸或其他机构控制铝门板20的旋进、旋出实现炉门的关闭和打开。