[实用新型]一种抛光垫开槽装置

说明书

本实用新型涉及一种抛光垫开槽装置，其包括主轴、固定圈、锯片固定杆、锯片和紧固螺母；所述主轴的输出端上穿设有所述固定圈，所述固定圈上活动连接有微调结构；且所述主轴输出端与所述锯片固定杆传动连接；位于所述锯片固定杆的端部通过所述紧固螺母与所述锯片固定连接。本实用新型对开槽深度可以进行微调，保证排屑顺畅，降低粉尘污染。

技术领域

本发明涉及一种开槽装置，特别是关于一种在半导体制造领域中应用的抛光垫开槽装置。

背景技术

目前，市场上有各种各样的抛光垫开槽机构，而大部分都通过模具挤压的方式进行开槽，挤压出来的槽形，带圆度，在挤压的过程中，可能在材质内部产生形变，在实际抛光加工中对加工件的加工不理想。为了克服上述缺陷，亟需对现有开槽机构进行有益的改进。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种抛光垫开槽装置，该装置对开槽深度可以进行微调，保证排屑顺畅，降低粉尘污染。

为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：一种抛光垫开槽装置，其特征在于：该装置包括主轴、固定圈、锯片固定杆、锯片和紧固螺母；所述主轴的输出端上穿设有所述固定圈，所述固定圈上活动连接有所述微调结构；且所述主轴输出端与所述锯片固定杆传动连接；位于所述锯片固定杆的端部通过所述紧固螺母与所述锯片固定连接。

进一步，所述固定圈两端垂直设置有两滑块，且位于所述固定圈顶部设置有连接板，所述连接板上设置有用于连接所述微调结构的第一螺纹孔和调节孔。

进一步，所述微调结构包括导轨、导轨盖板、压板、紧固螺钉和旋钮千分尺；所述导轨设置在所述导轨盖板两侧，呈垂直设置，所述固定圈上的两滑块与所述导轨盖板两侧的导轨配合；所述导轨盖板顶部设置有第二螺纹孔，所述固定圈与所述导轨盖板之间通过上述第一螺纹孔、第二螺纹孔和紧固螺钉进行连接，且所述调节孔内设置有所述旋钮千分尺；位于所述导轨盖板外侧下部固定连接有所述压板，所述压板中部设置的开槽孔与所述锯片呈对应设置。

进一步，所述主轴外部设置有主轴支架，所述主轴支架顶部设置有安装板，所述安装板上部一侧设置有固定板。

进一步，所述主轴支架包括主轴下固定板和主轴上固定板，所述主轴下固定板采用半圆结构，所述主轴上固定板采用具有半圆槽的矩形结构；所述主轴上固定板上设置有半圆槽的一侧与所述主轴下固定板固定连接，形成中空圆形通孔，所述主轴位于该中空圆形通孔内；所述主轴上固定板另一侧与所述安装板固定连接。

进一步，所述锯片上方设置有防尘罩。

进一步，所述防尘罩通过防尘罩固定块固定在所述安装板的端部。

进一步，所述防尘罩的出口与现有大功率吸尘器连接。

进一步，所述主轴采用2.2KW水冷主轴。

进一步，所述锯片采用硬质合金圆锯片。

本发明由于采取以上技术方案，其具有以下优点：1、本发明采用锯片是切割的方式进行开槽，将抛光垫上的在槽型内的部分切除，对开槽深度可以进行微调，进而保证了排屑顺畅，降低了粉尘污染。2、本发明主轴采用2.2KW水冷主轴电机最高转速可以达到24000转每分钟，运转平稳。3、本发明锯片采用硬质合金圆锯片，防尘罩外接大功率吸尘器，保证排屑顺畅。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的分解结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。