[实用新型]微型流体控制装置

说明书

一种微型流体控制装置，包含：一进气板；一共振板，供与该进气板组配结合:一压电致动器，与该共振板组配结合，包括有：一悬浮板，具有一第一表面及一第二表面；一外框，环绕设置于该悬浮板的外侧，并具有一组配表面；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑该悬浮板；以及一压电元件，贴附于该悬浮板的第二表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动；其中，该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间，并使该悬浮板的第一表面与外框的组配表面形成为非共平面，且使该悬浮板的第一表面与该共振板之间保持一腔室间距。

技术领域

本案关于一种微型流体控制装置，尤指一种透过冲压加工调整腔室间距以得到稳定传输流量的微型流体控制装置。

背景技术

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业经常会使用到流体传输装置，但上述领域的产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，自以如何提升微型流体传输装置的效率，为当下发展的重要内容。

又如图1A所示，于已知技术中，微型流体传输装置1包含一进气板11、一共振板12及一压电致动器13，然而微型流体传输装置1的共振板12与压电致动器13之间的间距h对其传输效率影响甚剧，而这间距h一般制程常见是由胶层14厚度来控制，但是胶体14本身的厚度会受到温度与热压重量影响，再加上如图1B所示，实际组装上进气板1的材料本身受环境温度影响的变形，因此要控制胶层14厚度非常困难，如此导致微型流体传输装置1的传输效率不稳定的问题，此外，共振板12与压电致动器13之间的间距h过低时，会造成悬浮板131与共振板12之间相互干涉，因而消耗两者的动能而影响传输效率，也会因为彼此干涉碰撞因而衍生出噪音问题。

有鉴于此，如何发展一种可轻易控制共振板与致动器之间的间距，用以稳定微型流体传输装置的传输效率，实乃为当前极为重要的课题。

实用新型内容

本案的主要目的是提供一种微型流体传输装置，能够轻易且准确地调整共振板与致动器之间的间距，用以提供稳定的传输效率。

本案的一广义实施态样为一种微型流体控制装置，包含：一进气板；一共振板，供与该进气板组配结合:一压电致动器，与该共振板组配结合，包括有：一悬浮板，具有一第一表面及一第二表面；一外框，环绕设置于该悬浮板的外侧，并具有一组配表面；至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑该悬浮板；以及一压电元件，贴附于该悬浮板的第二表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动；其中，该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间，并使该悬浮板的第一表面与外框的组配表面形成为非共平面，且使该悬浮板的第一表面与该共振板之间保持一腔室间距。

附图说明

图1A所示为已知的微型流体控制装置无材料变形的组装理想样态剖面示意图。

图1B所示为已知的微型流体控制装置的进气板材料变形所组装样态剖面示意图。

图2A所示为本案微型流体控制装置的正面方向视得分解示意图。

图2B为本案微型流体控制装置的底面方向视得分解示意图。

图3为本案微型流体控制装置组装后的剖面示意图。

附图标记说明

1：微型流体控制装置

11：进气板

111：进气孔

112：汇流排孔

113：汇流腔室

12：共振板

121：中空孔

122：可动部

123：固定部