[实用新型]一种微小器件试样用渗透率检测装置

说明书

一种微小器件试样用渗透率检测装置，包括量筒组，量筒组分为一号量筒和二号量筒，其中一号量筒通过量筒支架设置在二号量筒的相对高处，而二号量筒则设置在一号量筒的相对低处，在这两个量筒之间设置有一渗透率检测装置组件；一号量筒在其筒内设置有一号导管，通过该一号导管的一端将量筒内的检测流体通入与一号导管另一端连接的渗透率检测装置组件。对设置在渗透率检测装置组件内的微小器件试样进行渗透率检测，检测流体再通过与渗透率检测装置组件连接的二号导管通入二号量筒。本实用新型能模拟多种不同的多孔介质材料串联而成的复合多孔介质，测量精度高，并可实现调出微小的压差，装置结构简单、操作灵活方便、成本低。

技术领域

本实用新型涉及检测装置领域，尤其涉及一种应用于微小器件试样的渗透率检测时用的检测装置。

背景技术

目前，随着微纳技术的发展，出现了多种微小器件，如：倒装芯片、MEMS、微流控芯片、人工组织、生物支架等。其中很多微小器件在其制造、封装或使用过程会涉及到流体，所以流体的通过性能参数之一-渗透率是这些器件的重要指标，所谓的渗透率是指多孔介质对流体的渗透力，也反映了多孔介质对流体流动的阻力。

而由于这些微小器件的尺存小，能承载的流体压力小，而检测精度又相对高，所以现有技术下的渗透率的检查难度较高。现在还没有合适的仪器来检测这些微小器件的渗透率，故现在需要一种可以快速、准确地对微小器件的试样进行渗透率检测的装置。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种微小器件试样用渗透率检测装置，该检测装置能模拟多种不同的多孔介质材料串联而成的复合多孔介质，可将整个渗透率检测系统当成一个整体的多孔介质试样，其检测速度快，精度高，且整体安装使用方便。

本实用新型的一种微小器件试样用渗透率检测装置，其具体结构如下所述：

一种微小器件试样用渗透率检测装置，包括量筒组，其特征在于：

所述的量筒组分为一号量筒和二号量筒，其中一号量筒通过一量筒支架设置在二号量筒的相对高处，而二号量筒则设置在一号量筒的相对低处，在这两个量筒之间设置有一渗透率检测装置组件；

所述的一号量筒在其筒内设置有一号导管，通过该一号导管的一端将量筒内的检测流体通入与一号导管另一端连接的渗透率检测装置组件，对设置在渗透率检测装置组件内的微小器件试样进行渗透率检测，检测流体再通过与渗透率检测装置组件连接的二号导管通入二号量筒。

根据本实用新型的一种微小器件试样用渗透率检测装置，其特征在于，所述的渗透率检测装置组件包括上夹持板、下夹持板、上密封垫、下密封垫、微小器件试样、定位螺栓螺母和刚性插管，其中，在上夹持板与下夹持板之间设置有呈上下紧贴式设置的上密封垫和下密封垫，而下密封垫的上部开设有凹腔，微小器件试样则置于该凹腔的中间位置，通过使用定位螺栓螺母垂直旋接的方式将上夹持板、下夹持板、上密封垫和下密封垫紧密连接在一起，即，上密封垫和下密封垫之间的形成凹腔式的密闭空间，一号导管从上夹持板的上部的一侧垂直插入，导管端内设置有刚性插管，该刚性插管垂直通入凹腔，该位置为流体进入端，将从一号导管通入的检测流体引入至凹腔，对置于凹腔中间位置的微小器件试样进行检测，而二号导管则从上夹持板的上部的另一侧垂直插入，二号导管的导管端内同样设置有通入凹腔的刚性插管，该位置为流体流出端，检测流体经过微小器件试样后再通过二号导管流出至与二号导管连接的二号量筒。

根据本实用新型的一种微小器件试样用渗透率检测装置，其特征在于，所述的一号导管上设置有流体控制阀门，该流体控制阀门控制了从一号量筒通入渗透率检测装置组件的检测流体的流量。

检测流体的流动原理为：一号量筒中的检测流体在自身重力的作用下，通过一号导管进入凹腔，然后经过微小器件试样后再由二号导管进入二号量筒，并可以通过一号导管上设置有流体控制阀门来控制流体的流量。

本实用新型的一种微小器件试样用渗透率检测装置，其结构原理如下：