[实用新型]一种换热冷却装置以及光刻机有效
| 申请号： | 201820235913.5 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN208569296U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赵建军;付辉;赵滨;梁湧 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却部件 换热冷却装置 换热冷却 冷却介质 网状支架 中间夹层 壳体 本实用新型 光刻机 室内 产率 氮气 惰性气体 通路接触 壳体腔 流通 腔室 | ||
1.一种换热冷却装置，其特征在于，包括壳体以及设置于由所述壳体限定的腔室内的中间夹层，所述中间夹层为网状支架结构，所述腔室和所述网状支架结构共同构成冷却介质流通的通道。
2.如权利要求1所述的换热冷却装置，其特征在于，所述网状支架结构是由多个立体支架均匀堆叠组成。
3.如权利要求2所述的换热冷却装置，其特征在于，所述立体支架为四面体支架或六面体支架。
4.如权利要求3所述的换热冷却装置，其特征在于，所述网状支架结构包括多层子结构，每层子结构具有相互平行的两个表面。
5.如权利要求3所述的换热冷却装置，其特征在于，所述四面体支架是由六根长度相同的横梁连接而成的棱锥状结构。
6.如权利要求1所述的换热冷却装置，其特征在于，所述壳体和中间夹层由3D打印机一体打印形成，或者，所述壳体和中间夹层各自由3D打印机打印形成后再进行组装。
7.如权利要求1所述的换热冷却装置，其特征在于，所述壳体包括相对设置的上壁和下壁以及与所述上壁和下壁连接的侧壁，所述上壁和/或下壁面向需冷却部件。
8.如权利要求7所述的换热冷却装置，其特征在于，还包括冷却介质输入管道和冷却介质输出管道，所述冷却介质输入管道的一端和冷却介质输出管道的一端均连接在所述侧壁上。
9.如权利要求7所述的换热冷却装置，其特征在于，所述侧壁的高度小于等于15mm。
10.如权利要求1所述的换热冷却装置，其特征在于，所述壳体包括内壁以及套设于所述内壁外的壳体，所述内壁和壳体连接构成所述腔室，所述内壁面向需冷却部件。
11.如权利要求10所述的换热冷却装置，其特征在于，所述壳体的内表面与壳体的外表面的距离小于等于15mm。
12.如权利要求1至11中任一项所述的换热冷却装置，其特征在于，所述中间夹层与所述壳体固定连接。
13.如权利要求1至11中任一项所述的换热冷却装置，其特征在于，还包括冷却介质供给机构，所述冷却介质供给机构用以向所述腔室提供冷却介质。
14.如权利要求13所述的换热冷却装置，其特征在于，所述冷却介质供给机构为氮气供给机构和/或惰性气体供给机构。
15.如权利要求1至11中任一项所述的换热冷却装置，其特征在于，所述壳体和中间夹层的材质是钛合金或不锈钢。
16.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1至15中的任意一项所述的换热冷却装置。
17.如权利要求16所述的光刻机，其特征在于，所述光刻机还包括一干涉仪，所述换热冷却装置用于冷却所述干涉仪。
18.如权利要求16所述的光刻机，其特征在于，所述光刻机还包括一干涉仪物镜水套，所述换热冷却装置用于冷却所述干涉仪物镜水套。
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