[实用新型]一种超细碳化硅气流粉碎室

权利要求书

1.一种超细碳化硅气流粉碎室，包括主体（1）；其特征是：所述的主体（1）下部设置有气源一连接管（2）和气源二连接管（3）；所述的主体（1）左侧设置有喷嘴一（4）；主体（1）右侧设置有喷嘴二（5）；所述的喷嘴一（4）上部设置有进料口（6）；所述的喷嘴二（5）上部设置有出料口（7）；所述的气源一连接管（2）和气源二连接管（3）在气源总管（8）处汇合；所述的气源总管（8）上设置有压力表（9）；所述的喷嘴一（4）正前方设置有稳流管一（10），所述的稳流管一（10）前方设置有靶板一（11），所述的靶板一（11）固定在托板一（12）上；所述的托板一（12）设置在主体（1）上；所述的喷嘴二（5）正前方设置有稳流管二（13），所述的稳流管二（13）前方设置有靶板二（14），所述的靶板二（14）固定在托板二（15）上；所述的托板二（15）设置在主体（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种超细碳化硅气流粉碎室，其特征在于：所述的喷嘴一（4）与喷嘴二（5）结构相同；所述的喷嘴一（4）包括入口稳定段（16）、渐缩段（17）、喉部段（18）、扩张段（19）和出口稳定段（20）；所述的入口稳定段（16）与气源一连接管（2）连接，其直径要略小于气源一连接管（2）的直径；所述的入口稳定段（16）与渐缩段（17）连接，所述的渐缩段（17）的直径逐渐缩小；所述的渐缩段（17）与喉部段（18）连接，所述的喉部段（18）的直径与渐缩段（17）出口处直径相同；所述的喉部段（18）与扩张段（19）连接；所述的扩张段（19）直径逐渐扩大；所述的扩张段（19）与出口稳定段（20）连接。

3.根据权利要求2所述的一种超细碳化硅气流粉碎室，其特征在于：所述的喷嘴一（4）与稳流管一（10）之间的间隔距离为4-9mm；所述的稳流管一（10）与靶板一（11）的距离为3-8mm；所述的靶板一（11）的直径为16mm、厚5mm的圆柱形硬质合金，所述的托板一为圆柱形；所述的托板一（12）上开有12个直径为2.6mm的小孔。