[实用新型]一种靶材帮定自动控温装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材帮定自动控温装置，控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。本实用新型通过记录仪记录并保存加工过程的带有时间标记的热电偶的电压信号，形成一时间温度比较曲线，在批量加工过程中将当前各热电偶的电压信号与时间温度比较曲线的相应时间点的电压信号比较，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。

技术领域

本实用新型涉及靶材的温度控制装置技术领域，尤其是涉及一种靶材帮定自动控温装置。

背景技术

靶材的应用行业广泛，种类也多种多样，很多靶材由于本身的性质不符合溅射设备的装配和使用要求，需要特殊的背板，靶材与背板帮定使用。在生产过程中，靶材帮定需要精确的温度控制，以实现良好的帮定质量，避免热应力导致靶材变形而报废。不同的靶材品种规格不同，帮定要求也不同，市场上没有专门的帮定温控系统，因此有必要予以改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种靶材帮定自动控温装置，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种靶材帮定自动控温装置，包括三相交流电源、温控器、可控硅模块、控制单元和用于安装背板的背板加热平台，背板加热平台间隔安装有若干发热管，背板加热平台的底面对应发热管的位置分别安装有热电偶，若干发热管并联形成一发热管组支路，可控硅模块和发热管组支路串联而成一加热支路；三相交流电源的三个电极分别电性连接三个加热支路的第一端，三个加热支路的第二端电性连接于一结点，形成一星形连接的三相交流电源工作电路；每个可控硅模块分别具有至少一可控硅触发器，控制单元的各信号输出端分别电连接相应的可控硅模块的可控硅触发器；控制单元设置有记录仪，温控器的输入端分别电连接各热电偶，温控器的输出端电连接于记录仪，记录仪电连接控制单元，以实现保存带有时间标记的热电偶的电流信号或电压信号，并存储形成一时间温度比较曲线或时间温度对照表；控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较。

优选的，所述背板加热平台的背面田固定有10～20个发热管组，且各发热管呈矩阵排列，每个发热管组包括3～6个发热管，每个发热管组中的各发热管并联成一所述发热管组支路。

优选的，各所述加热支路分别通过负感器偶接有一电流表，所述三相交流电源连接有至少一电压表。

优选的，所述热电偶向所述控制单元输送电压信号，所述记录仪存储有所述时间温度比较曲线，时间温度比较曲线中存储的是带有时间标记的电压信号；在加工过程中按设定比较频率在时间温度比较单元中分别对各电压信号进行比较，在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号大于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元触发相应的可控硅模块的可控硅触发器，以实现切断相应发热管的电源；在时间温度比较单元中的比较的结果是当前电压信号等于或小于时间温度比较曲线中的相应时间点的电压信号时，控制单元不触发各相应可控硅模块的可控硅触发器，以实现各发热管保持通电加热状态。

本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型通过记录仪记录并保存加工过程的带有时间标记的热电偶的电压信号，形成一时间温度比较曲线，在批量加工过程中将当前各热电偶的电压信号与时间温度比较曲线的相应时间点的电压信号比较，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的电路结构的第一部分的示意图。

图2是本实用新型的电路结构的第二部分的示意图。