[实用新型]一种膜固化装置

说明书

本实用新型公开了一种膜固化装置，包括：对待固化基板进行固化的烘烤箱体、设置在烘烤箱体内部的加热装置、以及支撑待固化基板的支撑柱，加热装置包括上加热装置和下加热装置，上加热装置固定在烘烤箱体的顶部，下加热装置位于在烘烤箱体的内部且位于上加热装置的下方，下加热装置可在烘烤箱体内上下运动并将待固化基板托在上加热装置和下加热装置之间进行固化。通过上加热装置和下加热装置同时进行加热，提升了烘烤的效率，同时取消了热空气进气管路，取消了热空气的消耗，减少了干燥空气的使用，降低了资源浪费，排气管路设置在下部，保证了基板的受热的均一性，提升了产品质量。

技术领域

本实用新型涉及一种膜固化装置，特别是一种用于液晶显示器制造过程中的薄膜固化装置。

背景技术

当前国内的LCD(液晶显示器)产业处于蓬勃向上发展的阶段，各液晶面板厂商建设新厂的热情持续高涨。随着市场需求的扩大，各大液晶面板厂商在建设新厂的同时，也在不断的提升基板的生产节拍，使得生产效率最大化，在液晶显示器制造过程中，目前液晶显示面板制造过程中，膜固化的效率正在制约着生产效率，膜固化是指将涂覆在基板上的光刻胶加热发生化学反应的过程。膜固化还影响着液晶显示面板的显示质量，而影响膜固化最重要的因素就是烘烤温度。

目前液晶显示面板制造过程中，膜固化采取的装置主要如图1所示，膜固化装置，包括烘烤箱体1、设置在烘烤箱体1两侧的热空气进气管路5和排气管路6、设置在烘烤箱体1下部的加热装置2、设置在烘烤箱体1内部且可以上下移动的支撑柱4以及与支撑柱4连接的驱动马达3。在使用过程中，机械手臂将涂覆了光刻胶的基板通过挡板13送入烘烤箱体1并放在支撑柱4上，驱动马达3驱动支撑柱4往下移动，当基板7与加热装置2接触时，驱动马达3停止工作，加热装置2加热同时热空气进气管路5通入热空气，排气管路6打开。如图2所示，等待膜固化完成后，驱动马达3驱动支撑柱4向上移动，机械手臂取走加工完成的基板，并送入下一待加工基板，循环过程。

由于热空气进气管路和排气管路设置在烘烤箱体两侧，因此会造成吹入的热空气在基板的一侧温度较高，等到热空气到基板另一侧，靠近排气管路时，热空气温度降低，会影响同一基板两侧的成膜的时间和成膜的质量，造成两侧成膜的均一性不好，在加工的过程中，会消耗大量的干燥空气，浪费资源，造成成本上升，在烘烤箱体中，仅有烘烤箱体下部有加热装置，加热效率低下，单片加热时间较长，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型提供了一种膜固化装置，该膜固化装置采用两个加热装置，上下同时加热，并且改变了排气管路的位置，使得膜固化均一性得到保证，提升了膜固化的加工效率，提升了生产效率，降低了成本。

一种膜固化装置，包括：对待固化基板进行固化的烘烤箱体、设置在烘烤箱体内部的加热装置、以及支撑待固化基板的支撑柱，所述加热装置包括上加热装置和下加热装置，所述上加热装置固定在烘烤箱体的顶部，所述下加热装置位于在烘烤箱体的内部且位于上加热装置的下方，所述下加热装置可在烘烤箱体内上下运动并将待固化基板托在上加热装置和下加热装置之间进行固化。

优选的，所述膜固化装置还包括与所述下加热装置连接的连接杆、以及与所述连接杆连接的驱动马达。

优选的，所述连接杆的长度大于支撑柱的长度。

优选的，所述膜固化装置还包括与烘烤箱体的底部连接的至少一个排气管路。

优选的，所述排气管路有多个，多个排气管路均匀连接在烘烤箱体的底部。

优选的，每个排气管路包括主排气管路和副排气管路。

优选的，所述排气管路与烘烤箱体之间设置有封条。

优选的，所述上加热装置和下加热装置为陶瓷加热板。

优选的，所述膜固化装置还包括设置在烘烤箱体侧面的挡板。

优选的，所述支撑柱固定在烘烤箱体内侧底部。