[实用新型]一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具

说明书

一种放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具，该放置杆包括：杆体以及多个分隔齿。这些分隔齿设于杆体上且沿平行杆体轴心方向间隔排列，每一分隔齿包括齿根部、顶部及齿侧面。齿根部直接与杆体连接；顶部位于远离杆体的一端，且在平行杆体轴心方向上的宽度大于齿根部在平行杆体轴心方向上的宽度；齿侧面位于齿根部与顶部之间。通过本实用新型的实施，可使各分隔齿与基板间呈一点对点接触，并使应用该放置杆结构的基板载具拥有良好的排水效果；还可使基板与分隔齿间不致发生严重碰撞，进而能有效提升基板的生产质量以及合格率。

技术领域

本实用新型涉及基板放置的技术领域，尤其涉及一种可与基板呈点接触状态以减少液体残留，又可稳固支撑基板、避免碰撞的放置杆结构及应用该放置杆结构的基板载具。

背景技术

常见的半导体或太阳能电池制造过程中，必须将基板先放置到一个清洗架上，再去进行后续相关的湿式工艺。譬如，一般的太阳能电池工艺中，会用一载具承载太阳能电池基板，再利用机械手臂夹持或吊挂该载具，以对该载具中承载的太阳能电池基板进行酸碱蚀刻、清洗与干燥等步骤。

然而，现有技术中的载具的结构容易造成蚀刻或清洗的液体残留于基板与载具之间的缝隙内，造成基板四周的无效区域(pin mark or invalid region)面积过大以致产品不合格率过高。虽然有业者在其基板载具中改采齿状分隔/支撑结构以缩小载具与基板间的接触或间隙的面积。但由于现有技术中的载具中的相邻齿状分隔结构间的间距是由载具边缘起向着载具中央处逐渐变宽；而基板的尺寸却必须较基板载具的边缘间距小，并且还存有误差。因此，如图7所示，现有技术中的基板载具中所容置的基板3的边缘通常都会离两侧的齿状分隔结构41一段距离，且因基板3尺寸会有误差，故尺寸越小的基板3，其边缘与齿状分隔结构41间的距离或间隙越大。致使在吊挂或移动的过程中，基板3容易产生晃动，并与基板载具的齿状分隔结构41发生碰撞因而受损。

因此，要如何解决上述现有技术中基板载具及其所采用的放置杆所造成的问题便成为本实用新型的研发团队努力的课题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种放置杆结构，包括：杆体以及多个分隔齿。分隔齿包括齿根部、顶部及齿侧面。齿根部直接与杆体连接；顶部位于远离杆体的一端，且该顶部在平行杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；齿侧面位于齿根部与顶部之间。

较佳实施，这些分隔齿具有两个该齿侧面，且该两个齿侧面远离该杆体的一端的边缘相接形成该分隔齿的顶部，而使该顶部呈刀刃状。

较佳实施，这些分隔齿还包括两个齿端面，这些齿端面位于该顶部、两该齿侧面及该杆体之间。

较佳实施，其中这些分隔齿的这些齿侧面呈上宽下窄的平面状或曲面状。

较佳实施，这些分隔齿的该两个齿侧面与该杆体的交线间的距离小于该杆体的直径。

较佳实施，这些分隔齿的该两个齿侧面与该杆体交线间的距离等于该杆体的直径。

本实用新型还提供一种基板载具，该基板载具包括：两侧板；至少一侧杆体，每一该侧杆体的两端分别与该两侧板邻近外缘处相连接；以及至少一底杆体，这些底杆体的两端分别与该两侧板邻近下缘处相连接；其中这些侧板、该侧杆体以及该底杆体共同形成一收容空间，且该侧杆体包括一杆体及多个分隔齿，这些分隔齿设于该杆体上且沿平行该杆体轴心方向间隔排列并由该杆体表面朝向该收容空间凸伸，每一该分隔齿包括：一齿根部，其直接与该杆体连接；一顶部，其位于该分隔齿远离该杆体的一端，且该顶部在平行该杆体轴心方向上的宽度大于该齿根部在平行该杆体轴心方向上的宽度；以及一齿侧面，其位于该齿根部与该顶部之间。