[实用新型]一种导模法生长氧化镓单晶的复合热场结构

权利要求书

1.一种导模法生长氧化镓单晶的复合热场结构，其特征在于，包括高温熔融区和中温退火区，中温退火区置于高温熔融区之上；

所述的中温退火区采用氧化锆保温材料制成，外部缠绕高温电阻加热丝，且中温退火区的中心沿轴向方向开有长方形通孔；

所述的高温熔融区包括由上保温盖、侧保温结构和下保温层组合成的筒状的保温结构；所述的上保温盖将中温退火区与高温熔融区隔开，并且上保温盖的中心开有长方形通孔，与中温退火区的中心通孔相对应，为籽晶杆入口；所述的下保温层的中心开有一个通孔，用于插入上下高度可调节的坩埚支撑杆，所述的坩埚支撑杆的上端固定铱坩埚托。

2.根据权利要求1所述的复合热场结构，其特征在于，所述的高温熔融区还包括感应加热线圈、铱发热体、铱模具、铱坩埚、铱坩埚托、坩埚支撑杆、发热体支撑结构、坩埚盖和铱反射盖；所述的感应加热线圈环绕于侧保温结构外侧；在下保温层关于中心轴对称的左右两侧各开有一个通孔，用于插入发热体支撑结构；所述的发热体支撑结构为杆状物，发热体支撑结构的上端固定连接到铱发热体的底片上；铱发热体为筒状结构，同轴套在铱坩埚外面，并放置在保温结构内；在铱发热体的上端面安装有铱反射盖；所述的铱坩埚放置在铱坩埚托上，铱坩埚内的中心处嵌有铱模具，铱坩埚上盖有坩埚盖。

3.根据权利要求1或2所述的复合热场结构，其特征在于，所述的复合热场结构还设置有上观察窗和下观察窗；在靠近中温退火区的外壁上开有上观察窗，在靠近铱反射盖的侧保温结构和外壁上开有下观察窗；在上观察窗和下观察窗上配置视频成像系统。

4.根据权利要求2所述的复合热场结构，其特征在于，所述的铱反射盖为中心开长方形孔的片状结构，铱反射盖的长宽与铱发热体的上端面尺寸相同。

5.根据权利要求2所述的复合热场结构，其特征在于，所述的坩埚盖上开有与铱模具截面尺寸相同的通孔，铱模具伸入坩埚盖的通孔内。

6.根据权利要求1或2所述的复合热场结构，其特征在于，所述的中温退火区的厚度为样品尺寸的1.2～1.8倍。

7.根据权利要求2所述的复合热场结构，其特征在于，所述的上保温盖与铱反射盖之间的距离为样品尺寸的0.9～1.1倍。

8.根据权利要求1或2所述的复合热场结构，其特征在于，设置上保温盖的厚度为0.2～0.4倍的样品尺寸。

9.根据权利要求1或2所述的复合热场结构，其特征在于，所述的中温退火区，缠绕在其上部的电阻加热丝要比缠绕在其下部的电阻加热丝密。