[实用新型]反射镜净化装置

权利要求书

1.一种反射镜净化装置，其特征在于，包括：

顶盖，其上设置有反射孔，

底盘，与所述顶盖连接构成容置内腔；

净化环，其中净化环进气口与气线柱输气口连通，净化环出气口设置在其内径面上；所述净化环通过净化环支架与底盘连接，置于所述顶盖与所述底盘构成的容置内腔内；以及

反射镜，其通过反射镜固定件与底盘连接，置于所述顶盖与所述底盘构成的容置内腔内。

2.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述净化环包括：

净化环顶盖；

净化环底座，与所述净化环顶盖连接构成容置腔体，所述净化环出气口设置在所述容置腔体外表面的内径面上；

管箍组架，包括：

第一子管箍；以及

第二子管箍，与所述第一子管箍通过连接臂连接；

所述管箍组架固定在净化环底座上，且置于所述容置内腔腔体内；

环形加热管，通过k个管箍组架中的第一子管箍固定，且所述k个管箍组架在环形加热管上均匀分布，其中，k≥2；以及

环形气管，通过k个管箍组架中的第二子管箍固定，且所述k个管箍组架在环形气管上均匀分布，其中，k≥2；

环形气管进气口与净化环进气口连通，且与气线柱输气口连接，所述环形气管还设有环形气管出气口。

3.根据权利要求2所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述环形气管出气口为均匀布设在所述环形气管内环面的w个圆孔；每个所述环形气管出气口上均连接有环形气管出气口垫片，其中，w≥2。

4.根据权利要求2所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述环形加热管的加热温度为q，其中，60℃≤q≤80℃。

5.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述顶盖开设有除尘槽，所述除尘槽在所述顶盖上均匀分布；所述除尘槽个数为p，其中，p≥4。

6.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述净化环出气口的圆弧切线与反射镜所在平面构成的夹角为α，其中，45°≤α≤60°。

7.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述反射孔为圆形开口结构；所述反射孔中心轴线与所述反射镜中心轴线重合；所述反射孔直径为d1，其中，50mm≤d1≤80mm。

8.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述反射镜为圆形镜面；所述反射孔中心轴线与所述反射镜中心轴线重合；所述反射镜直径为d2，其中，10mm≤d2≤15mm。

9.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述反射镜的镜面反射率为γ，其中，γ≥95％。

10.根据权利要求1所述的反射镜净化装置，其特征在于，所述净化环支架为三角钢架结构，所述净化环支架底部与底盘连接，所述净化环支架顶部与净化环连接。