[实用新型]一种基于容栅的非接触式位移传感器有效
| 申请号： | 201820256718.0 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN207881638U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 伍活民;陈文锡 | 申请（专利权）人： | 江门市银象科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B7/02;G01D5/56;G01D5/58 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 广东省江门市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高精度位移传感器 容栅位移传感器 本实用新型 容栅 非接触式位移传感器 读数头 静栅 测量 强光 容栅位移测量 测量数据 电容变化 动栅单元 基础测量 精度位移 快速响应 位移数据 控制器 不敏感 定极板 动极板 输出数 位移量 磁感 输出 | ||
1.一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：包括静栅单元(1)和用于获取位移数据的读数头(2)，所述读数头(2)包括动栅单元(3)、高精度位移传感器(4)和用于读取所述动栅单元(3)及高精度位移传感器(4)的测量值的控制器(5)，所述动栅单元(3)和高精度位移传感器(4)分别与所述控制器(5)电连接，所述动栅单元(3)与所述静栅单元(1)非接触的相向设置组成容栅位移传感器，所述高精度位移传感器(4)的工作窗口(41)非接触的朝向所述静栅单元(1)；所述读数头(2)沿所述静栅单元(1)表面移动，所述动栅单元(3)和高精度位移传感器(4)分别测量位移信息并发送到控制器(5)，由控制器(5)输出。
2.根据权利要求1所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述静栅单元(1)包括反射极(11)和屏蔽极(13)，所述反射极(11)排列成栅状结构，设置于所述静栅单元(1)表面且与所述动栅单元(3)及高精度位移传感器(4)的工作窗口(41)相对，所述屏蔽极(13)接地。
3.根据权利要求2所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述静栅单元(1)为印刷电路板，所述反射极(11)印刷于电路板表面。
4.根据权利要求3所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述高精度位移传感器(4)为激光位移传感器，所述静栅单元(1)还包括便于所述激光位移传感器分辨位移的磨砂绝缘片(12)，所述磨砂绝缘片(12)覆盖于所述反射极(11)表面。
5.根据权利要求3所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述高精度位移传感器(4)为磁栅位移传感器，所述静栅单元(1)还包括便于所述磁栅位移传感器分辨位移的磁性栅状胶片(15)，所述磁性栅状胶片(15)覆盖于所述反射极(11)表面。
6.根据权利要求1所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述动栅单元(3)包括加载激励信号的发射极(31)，所述发射极(31)排列成栅状结构，设置于所述动栅单元(3)的表面且与所述静栅单元(1)相对。
7.根据权利要求6所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述动栅单元(3)为印刷电路板，所述发射极(31)印刷于电路板表面。
8.根据权利要求1所述的一种基于容栅的非接触式位移传感器，其特征在于：所述动栅单元(3)还包括用于接收所述静栅单元(1)上感应信号的接收极(32)，所述接收极(32)与所述控制器(5)电连接。
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