[实用新型]气嘴组件及晶圆盒承载装置

说明书

一种气嘴组件及包含所述气嘴组件的晶圆盒承载装置。气嘴组件包含固定件、连接件及弹性件。固定件具有相互连通的第一开口及第二开口，且其与固定件内部的容置槽相连通。连接件包含有止挡部及连接部，连接件的部份设置于容置槽中，止挡部用以限制连接件仅能相对固定件于轴向移动。连接部具有贯穿的连通孔。弹性件的部份设置于容置槽，弹性件的抵压部对应抵顶连接件的止挡部，弹性件包含有与连通孔相互连通的穿孔。当晶圆盒固定设置于晶圆盒承载平台时，外露于第一开口的连接部能被晶圆盒抵压，而使弹性件的对应产生弹性回复力，并使连接部紧密地与晶圆盒的气体输入结构相互连接。

技术领域

本实用新型涉及一种气嘴组件及晶圆盒承载装置，特别是一种应用于晶圆盒载运装置的气嘴组件，及具有气嘴组件而可对晶圆盒的内部进行气体交换的晶圆盒承载装置。

背景技术

现有的应用于晶圆盒承载装置的气嘴，是利用弹性的橡胶或是相关材料一体成型地制成。此种气嘴在晶圆盒固定设置于承载装置上时，气嘴受晶圆盒抵压后，会向任意方向变形，从而导致晶圆盒与多个气嘴之间无法有效达到气密的效果。另外，现有的承载装置为了使晶圆盒稳固地固定设置于承载装置上，多会于承载装置上设置有相关的夹具，然而，当夹具使晶圆盒固定设置于承载装置时，会造成晶圆盒向夹具的一侧倾斜，从而导致晶圆盒与多个气嘴之间存在的无法有效气密的问题更加严重。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种气嘴组件及晶圆盒承载装置，用以改善现有技术中，应用于晶圆盒承载装置的气嘴无法与晶圆盒有效达到气密的效果的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种气嘴组件，其包含：一固定件，其包含有一固定部及一延伸部，所述延伸部由所述固定部的一侧延伸形成，所述延伸部于相反于所述固定部的一端形成有一第一开口，所述固定部于相反于所述延伸部的一侧形成有一第二开口，所述第一开口与所述第二开口彼此相互连通，所述固定件于形成所述第二开口的一端内凹形成有一容置槽；一连接件，其包含有一止挡部及一连接部，所述连接部由所述止挡部的一侧延伸形成，所述止挡部用以与形成所述第一开口的侧壁相互抵顶，以限制所述连接件相对于所述固定件于一轴向方向移动，所述连接部具有一连通孔，所述连通孔贯穿所述连接部及所述止挡部；其中，当所述连接件设置于所述固定件的所述容置槽中时，所述连接部对应外露于所述第一开口；其中，所述连接部用以与一晶圆盒的气体输入结构相互连接，而所述连通孔用以导引气体通过所述晶圆盒的气体输入结构，以进入所述晶圆盒的内部；一弹性件，其包含有一底部及一抵压部，所述抵压部由所述底部的一侧延伸形成，所述抵压部具有一穿孔，所述穿孔贯穿所述抵压部及所述底部；其中，所述弹性件与所述固定件相互固定，而所述抵压部对应位于所述容置槽中，且所述抵压部对应抵顶所述连接件的所述止挡部，而所述穿孔及所述连通孔相互连通；其中，所述固定件固定设置于一晶圆盒承载平台时，所述连接部对应外露于所述第一开口；当所述晶圆盒固定设置于所述晶圆盒承载平台时，所述连接部能被所述晶圆盒抵压，而使所述抵压部对应产生一弹性回复力，所述弹性回复力能作用于所述连接件，而使所述连接部紧密地与所述晶圆盒的气体输入结构相互连接。

优选地，所述连接部于相反于所述止挡部的一侧，形成有至少一环形凹槽；其中，所述连接部与所述晶圆盒的气体输入结构相互连接时，形成所述环形凹槽的结构对应抵顶所述晶圆盒的气体输入结构，而形成所述环形凹槽的结构能辅助使所述连接部与所述晶圆盒的气体输入结构之间形成气密的效果。

优选地，所述环形凹槽设置有一环形弹性件，所述环形弹性件的部份外露于所述环形凹槽；其中，所述连接部与所述晶圆盒的气体输入结构相互连接时，外露于所述环形凹槽的所述环形弹性件对应抵顶所述晶圆盒的气体输入结构，而所述环形弹性件能辅助使所述连接部与所述晶圆盒的气体输入结构之间形成气密的效果。

优选地，所述气嘴组件还包含有一底座，所述固定件与所述底座相互固定，所述连接件及所述弹性件对应设置于所述固定件及所述底座之间，所述底座包含有一气室，所述气室、所述穿孔、所述连通孔彼此相互连通；所述底座用以与外部气体交换设备能提供气体至所述气室，或者外部气体交换设备能导引所述气室中的气体向外排出。