[实用新型]一种化学品供应系统

权利要求书

1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括一中空柜体，位于所述中空柜体内的化学品室和运输管路室，控制系统，以及第一化学品供应线，所述第一化学品供应线包括位于所述运输管路室内的第一输送管道，所述第一输送管道，所述第一输送管道上设有排气管，所述排气管的两端分别连通第一输送管道连通和废液回收系统，位于所述化学品室内的待供应化学品，由经第一输送管道传送至后续各装置，所述控制系统控制所述排气管和/或第一输送管道的开启或关闭。

2.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一化学品供应线还包括位于所述化学品室的第一化学品罐，待供应化学品位于第一化学品罐中，所述第一输送管道的一端位于所述第一化学品罐的液位以下，所述第一输送管道上设有第一动力泵。

3.根据权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一动力泵的两端分别设有第一排气管和第二排气管。

4.根据权利要求3所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一输送管道和/或所述第一排气管、第二排气管上还设有气动阀，所述控制系统控制所述气动阀的开启或关闭。

5.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述运输管路室还设有第一回流管道，所述第一输送管道上设有压力传感器，所述第一回流管道的一端与第一输送管道连通，另一端位于所述化学品罐中，所述压力传感器检测所述第一输送管道内的压力，并将压力数据传输至控制系统，所述控制系统比较传输的压力与设定的阈值，当传输的压力大于阈值时，开启所述第一回流管道，所述第一输送管道内的部分待供应化学品返回至所述第一化学品罐。

6.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述中空柜体中充有压缩空气，所述压缩空气通过空气管道与所述中空柜体连通，所述空气管道上设有过滤器，所述压缩空气经过所述过滤器过滤后通入所述中空柜体。

7.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述中空柜体内设有隔板，所述隔板将所述中空柜体分隔为化学品室和运输管道室，所述隔板内充有经过滤后的氮气，以隔离所述化学品室和运输管道室。

8.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述化学品罐上还设有氮气入口，一部分氮气经过净化后通入所述化学品罐。

9.根据权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述化学品供应系统还包括第二化学品供应线，所述第二化学品供应线与所述第一化学品供应线的结构相同。

10.根据权利要求9所述的化学品供应系统，其特征在于，所述第一化学品供应线的第一输送管道和第二化学品供应线的第二输送管道之间设有气动阀，通过气动阀控制第一输送管道和第二输送管道连通或不连通。