[实用新型]一种高效真空叶片泵

权利要求书

1.一种高效真空叶片泵，其特征在于，包括泵体(1)，所述泵体(1)内设置有第一凹槽(2)，所述第一凹槽(2)的内壁呈曲线型，所述凹槽(2)内设置有转子(3)，所述转子(3)沿周向上贯穿设置有若干个叶片(4)，所述转子(3)带动所述叶片(4)转动时所述叶片(4)在所述第一凹槽(2)内来回移动。

2.根据权利要求1所述的一种高效真空叶片泵，其特征在于，所述转子(3)沿周向上设置有若干个贯通的第二凹槽(5)，所述叶片(4)设置在所述第二凹槽(5)内。

3.根据权利要求1所述的一种高效真空叶片泵，其特征在于，若干个所述叶片(4)相互交叉设置。

4.根据权利要求3所述的一种高效真空叶片泵，其特征在于，所述叶片(4)包括相互叠加的叶片一(41)、叶片二(42)及叶片三(43)，所述叶片一(41)的截面呈工型，所述叶片二(42)的截面呈U型，所述叶片三(43)的截面呈偏工型。

5.根据权利要求1所述的一种高效真空叶片泵，其特征在于，所述泵体(1)的上方设置有泵盖(6)，所述泵体(1)的下方设置有泵底(7)。

6.根据权利要求5所述的一种高效真空叶片泵，其特征在于，所述转子(3)通过主轴(8)与减速机(9)连接，所述泵底(7)通过中间连接体(10)设置在所述减速机(9)上，所述主轴(8)通过轴承(11)设置在所述中间连接体(10)内。

7.根据权利要求6所述的一种高效真空叶片泵，其特征在于，所述减速机(9)通过电机连接轴(12)与伺服电机(13)连接。