[实用新型]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，其特征在于，

该基板输送装置具备：

基板保持部，其保持基板，为了从一个模块向另一个模块输送该基板而沿着横向移动自由；

第1检测部，其用于在所述基板保持部从所述一个模块接收了所述基板之后、对在向所述另一个模块输送之前所述基板在该基板保持部中的位置进行检测；

第2检测部，其用于检测以要位于为了向另一个模块交接所述基板而设定好的暂定位置的方式进行了移动的所述基板保持部的实际位置与该暂定位置之间的错位；

位置决定部，其用于基于基板在所述基板保持部中的位置和所述错位来决定用于向所述另一个模块交接所述基板的交接位置。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述暂定位置由所述位置决定部基于所述基板在所述基板保持部中的位置设定，

该位置决定部基于所述错位将偏离了所述暂定位置的位置决定为所述交接位置。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第2检测部是为了对基板保持部在彼此正交的两个水平轴线上的位置进行检测而设置的。

4.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第2检测部为了对所述基板保持部的位置进行检测而设置于所述另一个模块。

5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第2检测部设置于在所述另一个模块开口的所述基板的输入口。

6.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第2检测部设置于所述基板保持部。

7.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第1检测部由多个传感器构成，该多个传感器分别用于在不同的位置对所述基板保持部所保持着的所述基板的周缘部的位置进行检测。

8.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述另一个模块具备：

载置部，其保持所述基板的背面的中心部，并且使该基板旋转；

处理液供给喷嘴，其向旋转的所述基板的周缘部供给处理液而进行处理。

9.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第1检测部为由投光部和受光部构成的光电传感器，基于所述受光部的受光区域的大小检测位置。

10.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述第2检测部为由投光部和受光部构成的光电传感器，基于所述受光部的受光区域的大小检测位置。

11.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

在所述基板保持部设置有贯通孔，

所述第2检测部对所述贯通孔的位置进行检测。

12.根据权利要求11所述的基板输送装置，其特征在于，

所述贯通孔设置于所述基板保持部的基端侧。

13.根据权利要求11所述的基板输送装置，其特征在于，

所述贯通孔设有两个。

14.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，

所述基板保持部为叉状物。

15.根据权利要求14所述的基板输送装置，其特征在于，

所述叉状物具备扁平的主体部，该主体部的顶端部从基部分成两叉而朝向该叉状物的前进方向伸出，该主体部以包围所述基板的侧周的方式构成为大致马蹄形状。

16.根据权利要求15所述的基板输送装置，其特征在于，

从所述主体部突出有多个支承所述基板的爪部，在各爪部形成有在支承着所述基板的期间内吸引并保持所述基板的吸引孔。