[实用新型]用于化学品输送系统的升温装置

说明书

一种用于化学品输送系统的升温装置，设置在一柜体，包含一环境温度感测单元、一电性连接该环境温度感测单元的控制系统及一电性连接该控制系统的加热系统，该加热系统包括将一气体导入该加热系统的第一输送管路、一将导入的该气体进行压缩而成为一压缩气体的气体加压模块、一供该压缩气体通过而使该压缩气体温度升高且形成一热气体的旋转管路以及一将该热气体输送至该柜体的内部的第二输送管路。藉此，通过该控制系统及该加热系统确保该柜体的温度，使位在该柜体的化学品不会因为温度的变化而产生质变。

技术领域

本实用新型为涉及一种用于化学品输送系统的升温装置，尤指一种利用热气体来维持化学品在输送系统中的温度的升温装置。

背景技术

在半导体制造、化工、制药或工程等产业中，往往需要通过复杂的管路来运送气体或液体的化学品，以满足工艺上的需求。

如中国台湾新型专利公告第M499512号的流体输送装置，其包含一第一分流件、一第二分流件以及多个隔离阀，该第一分流件具有相连通的一第一入口与多个第一出口，该第二分流件具有相连通的多个第二入口与一第二出口，且该第二分流件与该第一分流件位在同一参考轴在线，该些隔离阀以该参考轴线为中心分布在该参考轴线的外围，各该隔离阀具有一第一端口、一第二端口与一第三端口，该第一端口连通该第一分流件的一该第一出口，该第二端口连通该第二分流件的一该第二入口，各该隔离阀受操控而使该第一端口与该第三端口连通或使该第二端口与该第三端口连通。

然而，各种化学品所需的保存温度并不相同，温度太低可能导致化学品冻结或失去活性，尤其是在传输时，还容易因为化学品离开原本储藏的环境或受到外界较低温度的影响，而发生上述问题，导致工艺无法顺利进行，因此，如何防止因温度太低而导致化学品冻结、失去活性或变质，实为相关业者的重要课题。

实用新型内容

本实用新型的目的，在于解决化学品输送系统中，因环境温度降低而导致化学品冻结、失去活性或变质的问题。

为达上述目的，本实用新型提供一种用于化学品输送系统的升温装置，该用于化学品输送系统的升温装置是设置在一柜体，该用于化学品输送系统的升温装置包含有一环境温度感测单元、一控制系统以及一加热系统，该控制系统电性连接该环境温度感测单元，该加热系统电性连接该控制系统，且该加热系统包括一将一气体由该柜体的外部导入该加热系统的第一输送管路、一将导入的该气体进行压缩而成为一压缩气体的气体加压模块、一供该压缩气体通过而使该压缩气体温度升高且形成一热气体的旋转管路以及一将该热气体输送至该柜体的内部的第二输送管路。

上述的用于化学品输送系统的升温装置，其中，该加热系统还包含有一连接在该气体加压模块与该第二输送管路的调压阀。

上述的用于化学品输送系统的升温装置，其中，该加热系统还包含有一连接在该调压阀与该第二输送管路的流量器。

上述的用于化学品输送系统的升温装置，其中，该加热系统还包含有一连接在该气体加压模块与该第二输送管路的流量器。

上述的用于化学品输送系统的升温装置，其中，该环境温度感测单元为一温度量测器。

综上所述，本实用新型通过该加热系统提供热气体，以确保该柜体的温度，使位在该柜体的化学品或在该柜体内传输的化学品可以保持其原有的特性，不致被柜体内的温度影响而有剧烈改变。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的立体结构示意图。

图2为本实用新型第一实施例的功能方块示意图。

图3为本实用新型第二实施例的立体结构示意图。

图4为本实用新型旋转管路的示意图。

具体实施方式

涉及本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合图式说明如下：