[实用新型]一种气体反应浓度的检测装置

权利要求书

1.一种气体反应浓度的检测装置，其特征在于：包括发生器主体（1）、设置在发生器主体（1）内的至少一个反应模块、电源以及控制装置，反应模块连接有进气管（5）和出气管（4），进气管（5）和出气管（4）上均设置有用于检测气体体积流量的检测模块，检测模块的信号输出端与控制装置的信号输出端相连，反应模块与电源相连。

2.根据权利要求1所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于： 所述的发生器主体（1）为方形的箱体，进气管（5）和出液管均水平设置在发生器主体（1）上部，出气管（4）和进液管均水平设置在发生器主体（1）下部。

3.根据权利要求1所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于：每个反应模块均包括多根反应管（8），每个反应管（8）的冷却液通道两端分别连接有进液管和出液管，每个反应管（8）的气体通道两端分别连接进气管（5）和出气管（4），气体通道的内侧和外侧绝缘设置，且气体通道的内侧连接电源的放电电极，气体通道外侧连接电源地极。

4.根据权利要求3所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于：每根所述的反应管（8）均竖向设置，反应管（8）的冷却液通道上端与出液管连通，冷却液通道下端与进液管连通，反应管（8）的气体通道上端与进气管（5）连通，气体通道的下端与出气管（4）连通。

5.根据权利要求3所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于：所述的冷却液通道包括内冷却液通道和外冷却液通道，气体通道环绕内冷却液通道设置，外冷却液通道环绕气体通道设置；

进液管包括内冷却液进液管（2）和外冷却液进液管（3），出液管包括内冷却液出液管（7）和外冷却液出液管（6），内冷却液通道的下端与内冷却液进液管（2）连通，上端与内冷却液出液管（7）连通，外冷却液通道的下端与外冷却液进液管（3）连通，上端与外冷却液出液管（6）连通。

6.根据权利要求3或4所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于：每根所述的反应管（8）均包括同轴且由外至内依次设置的外管（11）、中间管（10）以及内管（9），外管（11）与中间管（10）间隔设置，形成外冷却液通道，中间管（10）与内管（9）间隔设置，形成气体通道，内管（9）的两端敞口设置，形成内冷却液通道。

7.根据权利要求6所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于：所述的内管（9）连接电源的放电电极，中间管（10）连接电源地极。

8.根据权利要求1所述的气体反应浓度的检测装置，其特征在于：所述的检测模块为质量流量计或气体流量控制器。