[实用新型]一种连接块及可拆卸式运动转化机构有效

专利信息
申请号: 201820271407.1 申请日: 2018-02-26
公开(公告)号: CN208627977U 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 丁高生;葛林五;陈景韶;葛林新;李杰 申请(专利权)人: 上海提牛机电设备有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 代理人: 周涛
地址: 201405 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 升降杆 延伸板 穿设筒 运动转化机构 滑块 可拆卸式 穿设孔 滑轨 丝轨 下端 线缆 螺母螺纹连接 螺母 本实用新型 滑块安装孔 螺母固定孔 升降杆固定 便于安装 硅片清洗 检修维护 精度控制 螺母安装 拆卸 穿设 侧面 配合 生产
【说明书】:

本实用新型公开了一种连接块及可拆卸式运动转化机构,属于硅片清洗技术领域。该连接块包括升降杆穿设筒,升降杆穿设筒的两侧分别设有第一延伸板和第二延伸板,升降杆穿设筒的侧面设有升降杆固定孔和第一线缆穿设孔,升降杆穿设筒的底部设有螺母固定孔,第一延伸板和第二延伸板上均设有滑块安装孔,第一延伸板上设有第二线缆穿设孔;该包括行程丝轨、螺母、升降杆、两个滑轨、两个滑块和上述连接块,螺母安装在连接块的下端,行程丝轨与螺母螺纹连接,两个滑块分别与第一延伸板和第二延伸板连接,两个滑块分别与两个滑轨配合,升降杆下端穿设于升降杆穿设筒内。该运动转化机构便于安装拆卸和检修维护,且将具有较高的精度,便于生产的精度控制。

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域,特别是涉及一种连接块及可拆卸式运动转化机构。

背景技术

硅片在生产过程中,硅片的表面会留有大量的污垢需要清洗,在现有的清洗过程中,普遍是将硅片放置在清洗槽内不断冲洗,为了将硅片清洗干净,需要较大的清洗液流量,导致清洗液的消耗量较大。因此将硅片在清晰槽内往复运动替换清洗液冲洗的方式,则会节省较多的清洗液。

发明内容

针对现有技术中存在的不足,本实用新型的目的是提供一种连接块和可拆卸式运动转化机构,利用该连接块和运动转化机构,可以实现硅片在清洗槽内的往复运动,从而提高硅片的清洗效率。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的:

一种连接块,包括升降杆穿设筒,所述升降杆穿设筒的两侧分别设有第一延伸板和第二延伸板,所述升降杆穿设筒的侧面设有升降杆固定孔和第一线缆穿设孔,所述升降杆穿设筒的底部设有螺母固定孔,所述第一延伸板和第二延伸板上均设有滑块安装孔,所述第一延伸板上设有第二线缆穿设孔。

优选的,所述升降杆穿设筒的外侧与第一延伸板之间设有第一加强过渡部,所述升降杆穿设筒的外侧与第二延伸板之间设有第二加强过渡部。

第一加强过渡部用于加强升降杆穿设筒与第一延伸板之间的机械强度,第二加强过渡部用于加强升降杆穿设筒与第二延伸板之间的机械强度,从而提高该连接块的机械强度。

优选的,所述升降杆穿设筒的底部设有环板,所述螺母固定孔设在环板上。

优选的,所述升降杆穿设筒的底部设有螺母安装槽。

优选的,所述第一延伸板和第二延伸板上均设有两组滑块安装孔,所述每组滑块安装孔包括四个滑块安装孔,且处于同一组的四个滑块安装孔处于同一个矩形的四个顶点上。

优选的,所述第一延伸板的背面和第二延伸板的背面处于同一个面上。

优选的,该连接块为一体成型结构。

优选的,该连接块为铝合金材质。

一种可拆卸式运动转化机构,包括行程丝轨、螺母、升降杆、两个滑轨、两个滑块和上述连接块,所述升降杆为中空结构,所述升降杆穿设于连接块的升降杆穿设筒内,所述升降杆和升降杆穿设筒通过第一螺栓连接,所述第一螺栓穿设于升降杆固定孔内,所述两个滑块分别与第一延伸板和第二延伸板通过第二螺栓连接,所述第二螺栓穿设于滑块安装孔内,所述两个滑块分别与两个导轨相匹配,所述螺母安装在螺母安装槽内,所述螺母和升降杆穿设筒的底部通过第三螺栓连接,所述第三螺栓穿设于螺母固定孔内,所述行程丝轨的上端与螺母螺纹连接。

优选的,所述升降杆的下端与环板的上表面连接。

优选的,所述螺母安装槽的槽深与螺母的厚度相等。

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