[实用新型]一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具

说明书

本实用新型涉及一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。该夹具包括底座、固定装置、保护胶圈、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆。该夹具底座为上下面平行的方形铁板，固定装置通过四根调节螺杆与底座相连。翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆，以控制固定装置和底座的距离。固定装置内侧设有保护胶圈，通过六角螺栓和螺母来固定晶棒。该夹具通过电磁装置固定在平面磨床操作台。本实用新型可快速固定、拆卸6英寸蓝宝石晶棒，保证蓝宝石晶棒端面平磨的准确率，操作简便，节省人力，工作效率高。

技术领域

本实用新型涉及大尺寸蓝宝石晶棒加工领域，具体涉及一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。

背景技术

α-Al₂O₃单晶又称蓝宝石，俗称刚玉，是一种简单配位型氧化物晶体。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、窗口材料。

众所周知，采用大尺寸蓝宝石衬底可有效降低LED芯片成本，大尺寸衬底可以在每个MOCVD轮次中制作更多的芯片。由于LED芯片存在边缘无效区，所以直径越大，芯片数量比与直径比优势越明显，以6英寸蓝宝石衬底为例，表面积是2英寸的9倍，芯片数量确是2英寸的10.9倍。所以衬底尺寸越大，芯片数量优势越明显。

蓝宝石晶体具有各向异性的特点，LED衬底采用c向蓝宝石晶片，为了更好地与外延层晶格匹配，减少外延层缺陷，在加工过程中要严格控制蓝宝石晶棒的晶向，需要对蓝宝石晶棒进行端面平磨纠角。采用松香封蜡的粘胶工艺在固定、拆卸晶棒时均需要采用铁板加热，加工效率低。同时，在加热过程中会产生刺激性气体，存在安全隐患。蓝宝石晶体的密度为3.98g/cm³，长度为20cm的6英寸蓝宝石晶棒重量约为15kg，在粘胶过程中不利于操作。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种高精度、高效率的6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。

本实用新型的目的是这样实现的：它包括底座、固定装置、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆，固定装置通过调节螺杆与底座连接，固定装置内侧设有保护胶圈，并通过六角螺栓和螺母固定晶棒，翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆，以控制固定装置和底座的距离，调节翼形旋钮确保晶棒底面与底座上表面完全贴合。

本实用新型夹具平行放置在平面磨床操作台上，根据晶向偏差选择对应的塞尺，最后通过电磁装置固定夹具，对晶棒进行磨削。

本实用新型还有这样一些特征：

1.所述的底座为上下面平行的正方形铁板，其厚度为1-2cm。

2.所述翼形旋钮设置在固定装置上，通过斜齿轮与调节螺杆相连接。

3.所述翼形旋钮可在无扳手辅助下，使得晶棒底面和底座上面完全贴合。

4.所述固定装置为不锈钢环，通过连接轴相连，采用螺栓和螺母能够达到较好的固定晶棒的效果。

本实用新型的有益效果有：

1.本实用新型能快速的固定、拆卸大尺寸蓝宝石晶棒。

2.本实用新型克服了采用粘胶工艺效率低，存在安全隐患等问题。

3.本实用新型在工作过程步骤简单，节省人力。

附图说明

图1为本实用新型俯视图；

图2为本实用新型主视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。