[实用新型]一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机有效
申请号: | 201820274157.7 | 申请日: | 2018-02-27 |
公开(公告)号: | CN207765472U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 梁明刚 | 申请(专利权)人: | 广东启天自动化智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 泰州地益专利事务所 32108 | 代理人: | 谭建成 |
地址: | 523637 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 叠片 机械手 上料皮带 上料架 横移 本实用新型 单晶制绒 回流结构 上下料机 自动化 吸入盘 下料架 双片 线插 缓存 吸盘 全自动生产线 六轴机器人 设备稳定性 传送机构 工作效率 硅片污染 横移结构 升降结构 有机械手 缓存盒 上料机 碎片率 硅片 下料 抓手 清洗 | ||
1.一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:包括
叠片上料架上料皮带线,其上设有独立传送机构和挡篮结构;
缓存盒,设有一个硅片缓存位;
六轴机器人,其上安装有机械手抓手;
双吸入盘横移结构,由三组横移机械手构成,每组所述横移机械手设有两个吸盘位;每组所述横移机械手分别与双吸入盘带升降结构连接;
叠片上料架上料皮带线,设有三组相互独立的所述叠片上料架上料皮带线;
叠片下料架回流结构,设有三组相互独立的所述叠片下料架回流结构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括换篮结构,其包括:矫正机构和花篮硅片托起机构。
3.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
皮带伸缩线,其上设有可伸缩机构和感应器;
空料架升降结构,其上设有横向皮带线、阻档气缸和皮带上下运动模组。
4.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
吹气结构,包括吹气嘴结构和夹料机械;所述吹气嘴结构成对相对设置;所述夹料机械对所述叠片上料架上料皮带线组流入的上料架进行夹紧;
顶片结构,由六个独立的升降机械手组成,将上料盒内的硅片顶出,与所述吹气嘴结构配合进行上料;
踢片结构,分别与双片检测机构和缺角检测机构连接。
5.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
花篮固定位,将满篮固定在工作台上;
下料花篮定位装置,根据所述下料花篮定位装置将下料机械手搬运过来的花篮固定在花篮固定位上;
下料机器人存片盒,将机器人分取硅片存于盒内,所述下料机器人存片盒设置数量为8个;
下料分双片吸盘和分双片吸盘横移机构将双片中的一片固定。
6.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
四吸盘硅片90度旋转机构将硅片进行90度旋转,设有两组,每组有四个吸盘。
7.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
CCD光源组件,包括两套视觉相机和一个光源;
CCD检测工作台,由两套伺服结构和传送皮带结构构成;
硅片分选模块,设置个数为四组。
8.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
分选料盒,由四组相互独立的升降机构组成,每组由两个接料盒组成;每个所述接料盒硅片放置量为100片。
9.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
下料皮带组,将硅片导入下料流片盒内完成下料硅片的发放;
空料盒输送线,对接AGV小车,将AGV搬运过来的花篮对接到空料盒输送线。
10.根据权利要求1所述的一种单晶制绒整线插分双片自动化上下料机,其特征在于:还包括:
回篮线动力机构,将提升机输送来的空花篮对接至回流线;
回篮线皮带调节机构,使回篮线稳定渡过至提升机;
回篮线机架,由型材和PE耐磨条组成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的