[实用新型]探针组件

说明书

本实用新型公开一种探针组件，其包括两个探针结构以及一电容元件。每一个探针结构包括一第一接触段、一第一连接段、一第二连接段以及一第二接触段。第一连接段连接于第一接触段。第二连接段连接于第一连接段。第二接触段连接于第二连接段。电容元件电性连接于两个探针结构之间。借此，本实用新型能通过电容元件的设置，而改善电源完整性。

技术领域

本实用新型涉及一种探针组件，尤其涉及一种应用于晶圆探针卡的探针组件。

背景技术

首先，现有技术的悬臂式探针卡主要是通过人工的方式将探针逐一焊接在印刷电路板上，同时，通过一粘着物(例如环氧树脂)将探针固定。例如，TW I447397号专利所公开的探针卡，其探针33即是利用包含有环氧树脂的固持部36而固定在电路板34上。

但是，上述现有技术中，当环氧树脂硬化后，会使得悬臂式探针卡变得不易维修。换句话说，当其中一根探针损坏时，现有技术的悬臂式探针卡并无法单独替换该损坏的探针，必须将整组悬臂式探针卡进行更换。

再者，现有技术的悬臂式探针卡的焊线方式，须要通过密集的线材以进行扇出(Fan-out)工艺，且因人工焊线须要较宽广的空间，所以传输路径较长。因此，会导致信号传输品质较差。进一步地，现有技术的悬臂式探针卡的探针线径较宽，故在布线上除了横向排列之外，仍必须进行纵向堆叠。但是，当针数多或间距小时，将导致探针安排的困难度增加。

进一步来说，现有的悬臂式探针卡结构，传输路径太长，阻抗无法控制，传输品质较不佳。同时，电源信号会因为传输路径过长，且探针截面积过窄，其电感特性将使电源阻抗随频率上升，造成电压下降而使得测试良率不佳。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种探针组件，能有效地改善悬臂式探针不易维修的特性，以降低探针组件的传输路径中电感的影响。

为了解决上述的技术问题，本实用新型所采用的其中一技术方案是，提供一种探针组件，其包括两个探针结构以及一电容元件。每一个所述探针结构包括一第一接触段、一第一连接段、一第二连接段以及一第二接触段，所述第一连接段连接于所述第一接触段，所述第二连接段连接于所述第一连接段，所述第二接触段连接于所述第二连接段。所述电容元件电性连接于两个所述探针结构之间。

更进一步地，所述第一连接段的横截面垂直于所述第一连接段的延伸方向，所述第二连接段的横截面垂直于所述第二连接段的延伸方向，且所述第一连接段的所述横截面的形状与所述第二连接段的所述横截面的形状彼此相异。

更进一步地，所述第一连接段的所述横截面的面积大于所述第二连接段的所述横截面的面积。

更进一步地，两个所述探针结构分别为一悬臂式探针结构。

更进一步地，所述第一接触段的延伸方向与所述第二接触段的延伸方向彼此相异。

更进一步地，所述第一连接段为一柱状结构，所述第二连接段为一片状结构，所述柱状结构与所述片状结构的形状不同。

更进一步地，所述第一接触段及所述第一连接段朝向一第一方向延伸，所述第二连接段朝向一第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向彼此相异。

更进一步地，所述第一接触段具有一抵靠部以及一连接于所述抵靠部的第一端部，所述第二接触段具有一第二端部。

更进一步地，所述抵靠部能抵接于一第一板体的一顶抵部。

更进一步地，所述电容元件包括一载板以及一设置在所述载板上且电性连接于所述载板的电容件，其中，所述载板包括一载体、一设置在所述载体上的第一导电部以及一设置在所述载体上且与所述第一导电部彼此分离的第二导电部，所述电容件的两端分别电性连接于所述第一导电部及所述第二导电部。