[实用新型]一种硅片夹爪及硅片夹持机构

权利要求书

1.一种硅片夹爪，其特征在于，该硅片夹爪包括横梁、两个连接杆（1）和承载横梁（2），所述横梁的两端分别与两个连接杆（1）的上端连接，所述承载横梁（2）的两端分别与两个连接杆（1）的下端连接，所述承载横梁（2）上设有一组以上硅片夹持槽（3），每组硅片夹持槽（3）均包括多个硅片夹持槽（3），且同一组内相邻的两个硅片夹持槽（3）之间的距离相等，所述硅片夹持槽（3）为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述硅片夹持槽（3）有两组。

3.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述横梁包括第一横梁（4）和第二横梁（5），所述第一横梁（4）的两端和第二横梁（5）的两端均与两个连接杆（1）的上端连接，且第一横梁（4）处于第二横梁（5）的上方。

4.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述横梁呈圆柱状。

5.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述两个连接杆（1）的上端均经过圆角处理。

6.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述两个连接杆（1）的下端均呈尖角状，所述承载横梁（2）的下表面设有横截面为倒三角形的凸条。

7.一种硅片夹持机构，其特征在于，该夹持机构包括两个驱动杆（6）和两个权利要求1至6中任一项所述的硅片夹爪，所述两个硅片夹爪相对设置，所述两个驱动杆（6）相平行，所述两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆（6）通过固定夹具连接，所述两个固定夹具均包括固定座（21），所述固定座（21）的上端设有第一夹持槽（22），所述固定座（21）的另一端设有夹爪夹持机构，所述夹爪夹持机构包括滑动座（23）和盖板（24），所述盖板（24）与滑动座（23）连接，所述滑动座（23）与盖板（24）相对的一面设有第一凹槽，所述盖板（24）与滑动座（23）相对的一面设有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽均与第一夹持槽（22）相平行，所述第一凹槽和第二凹槽相对设置，所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的夹持部（25），所述固定座（21）上设有条形孔（26），紧固螺栓的上端穿过条形孔（26）与滑动座（23）螺纹连接，所述固定座（21）的上表面设有调节机构，所述调节机构包括固定块（27）和调节螺栓（28），所述固定块（27）与固定座（21）的上表面固定连接，所述固定块（27）上设有水平螺栓孔，所述调节螺栓（28）的首端穿过水平螺栓孔与夹爪夹持机构连接。

8.根据权利要求7所述的一种硅片夹持机构，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽的纵剖面均为半圆形。

9.根据权利要求7所述的一种硅片夹持机构，其特征在于，所述第一夹持槽（22）的槽底的纵剖面呈圆形，所述第一夹持槽（22）的槽口处设有用于调节第一夹持槽（22）大小的锁紧机构。

10.根据权利要求9所述的一种硅片夹持机构，其特征在于，所述锁紧机构包括一个以上锁紧螺栓（29），所述第一夹持槽（22）的槽口两侧设有一组以上对穿螺栓孔，所述锁紧螺栓（29）穿设于对穿螺栓孔内。